机械工程综合实践实验报告课程名称机械工程综合实践专业精密工程扌指导教师彭小强小组成员刘强 14033006 谌贵卩日吴志明实验日期 201242 — 2011
25 国防科学技术大学机电工程与自动化学院1 激光干涉仪1
1 激光干涉仪介绍1
2 激光干涉仪原理2 激光干涉仪测量机床的直线度2
1 实验器材以及平台的搭建2
2 激光干涉仪的调试2
3 直线度的测量3 激光干涉仪测量机床的重复定位精度3
1 实验器材以及平台的搭建3
2 激光干涉仪的调试3
3 重复定位精度的测量4 实验分析与总结目录一、实验目的与任务 4二、实验内容与要求 4三、实验条件与设备 4四.实验原理 51
定位精度测量 52
直线度测量 6五、实验步骤 71
设定激光测量系统 72
调整激光光束,使之与机器运动轴准直
数据记录与数据处理 8六、实验过程和结果错误
X 轴定位精度错误
X 轴直线度错误
误差分析错误
七、实验总结与体会错误
实验总结错误
实验心得体会错误
对课程的一些建议错误
综合实践 3 伺服系统运动精度建模与评