TFC 膜系设计实例教程 TFC 膜系实例设计步骤（首先以AR 膜三层为例介绍） 1． 首选镀膜材料：AL2O3 ZRO2 MGF2 2． AR 膜技术要求：400------700 R〈1 3． 运行TFC 软件(如图1)，选择“取消”按钮，如要打开已设计好的膜系文件，可按“打开”来调用文件。图1 4． 在 File 菜单中选择New Coating 选项（如图2）。 图2 5． 进入环境编辑界面（Edit Environment）如图3 图3 6.在环境编辑界面中，第一项为监控波长（Reference wavelength）,默认设制为550（图3）。如果设计400-700 波段的AR 的话，就可以用这个设制。如要设计红外波段的话，那就要改大点。设好后，点击Analysis Parameters… .项，进入下一个波段的设制界面（Set Analysis Parameters）。（如图4） 图4 6． 在Set Analysis Parameters 界面中选Wavelengths and Angles 设计波段范围，在第一个输入框里输入起始波段400， 第二输入框里输入结束波段700，第三个输入框里的为步长，可以不改，其它的不动（如图4）。输入完成后，按 “OK”键确认，返回到如图3 的界面，再按“OK”键，进入设计界面（如图5） 图5 7.在Modify菜单中选Layers— Front(如图6)，然后进入添加膜层。（如图7） 图6 图7 7． 选择Options Front Lay ers…..,添加层数，如图7，在弹出的输入框的第一个中输入3 代表 3 层，如图8 图8 8． 然后点“OK”，进入，出现如图9 的画面。 图9 9． 现在把 Material(材料)项中的，改成你所要的材料 AL2O3 ZRO2 MGF2，把 Optimiz e?(优化否)项中的 NO，全部改为 YES（如图10） 图10 10.选择Modify 菜单中的Targets—continu ou s 项来设定优化目标（如图11） 图11 11． 选择Options 中的Add Continu ou s targets….(如图12)，点击进入，如果是创建一个优化目标的话 就不用改，如果要创建几个优化目标的话，就在第一个输入框中输入几。如图13 图12 图13 12． 如图14，在Wav elength(begin)(起始波长)处输入400，在Wav elength(end)（结束波长）处输入700 其它不要动。 图14 13．完成后，选Run 菜单的Optimize Design 选项进行优化，如图15 图15 14．优化界面如图16 图16 15．优化完成后，点击Analyze 查看优化后的曲线，如图17 图17 16．好了，这个 AR 的膜系已设计完成了，要查看每层的物理厚度，可以打开菜单 Modify 中选 Layers—Front 如图18 图1 8 1 7 ．7 6 3 ．4 1 2 0 .0 9 9 0 .8 3 就是我们优化后的厚度了 具体优化操作请看,视频实例优化
