气 体 质 量 流 量 控 制 器 （ 流 量 计 ） S48 32/HMT 使 用 说 明 (Ver.2.1) 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 目录 1. 概述 ........................................................................................................................... 1 2. 名词解释................................................................................................................... 2 3. 工作原理................................................................................................................... 5 4. 技术指标................................................................................................................... 7 5. 产品安装................................................................................................................... 8 6. 使用方法和操作步骤 ............................................................................................ 1 6 7. 警告和注意............................................................................................................. 1 9 8. 故障判断和处理 .................................................................................................... 2 2 9. 附录：标定和不同气体的换算 ............................................................................ 2 5 1 1. 概述 本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。 1.1 使用范围 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。 1.2 质量流量控制器（流量计） 质量流量控制器（流量计）(Mass Flow Controller（meter）缩写为MFC（MFM）)，具备流量测量和流量控制两种功能。 1.3 S48 32/HMT质量流量控制器(流量计)的特点 S48 32/HMT型质量流量控制器（流量计）是在HORIBA STEC引进技术基础上，结合国内需要而研制的一种质量流量控制器产品。 ☆具有流量精度高...
