Agilent5529 激光干涉仪使用 1 激光干涉仪使用手册 目 录 第一单元 激光干涉仪的应用 第一节 激光干涉仪的光路 第二节 激光干涉仪的基本使用方法 第二单元 FANUC 0iMC 系统有关螺距误差补偿的参数 第一节 数控系统的相关操作画面提示 第二节 与数控机床轴限位相关的参数的应用 第三节 与螺距误差补偿相关的参数的应用 第三单元 检测机床螺距误差的运行程序 第一节 检测加工中心 X 轴螺距误差的运行程序 第二节 检测加工中心 Y 轴螺距误差的运行程序 第三节 检测加工中心 Z 轴螺距误差的运行程序 第四节 机床预热程序 第五节 测得反向间隙的运行程序 第六节 二次检测的机床运行程序 第四单元 Agilent5529 激光干涉仪测量零部件的组装及运用 第一节 Agilent5529激光干涉仪测量零部件介绍 第二节 Agilent5529激光干涉仪测量零部件的组装 第三节 干涉镜和反射镜的组装及光束的调节方法 第五单元 Agilent5529/5530 检测软件的应用 第一节 Agilent5529/5530检测软件的界面介绍 第二节 Agilent5529/5530检测软件的案例 第六单元 VMC650 加工中心螺距误差补偿案例 Agilent5529 激光干涉仪使用 2 第 一 单 元 激 光 干 涉 仪 的 应 用 提 示 ： 因Agilent5529/5530 激 光 干 涉 仪 为 双 频 检 测 ， 所 以 本 单 元 节 重 点 介 绍 双频 检 测 的 原 理 1.什 么 是 激 光 干 涉 仪 ？ 激 光 干 涉 仪 (laser interferometer) 以 激 光 波 长 为 已 知 长 度 利 用 迈 克 耳 逊 干 涉 系 统 测 量 位 移 的 通 用 长 度 测 量 .工 具 激 光干 涉 仪 有 单 频 的 和 双 频 的 两 种 。 激 光 具 有 高 强 度 、 高 度 方 向 性 、 空 间 同 调 性 、 窄 带 宽 和 高 度 单 色 性 等 优 点 。 目 前常 用 来 测 量 长 度 的 干 涉 仪 ， 主 要 是 以 迈 克 尔 逊 干 涉 仪 为 主 ， 并 以 稳 频 氦 氖 激 光 为 光 源 ，构 成 一 个 具 有 干 涉 作 用 的 测 量 系 统 。 激 光 干 涉 仪 可 配 合 各 种 折 射 镜 、 反 射 镜 等 来 作 线性 位 置 、 速 度 、 角 度 、 真 平 度 、 真 直 度 、 平 行 度 和 垂 直 度 等 测 量 工...
