无尘车间标准等级的划分无尘车间的等级说明首先是无尘车间标准等级定义如下：Class X (at Y μ m ) 其中 X 是无尘车间的等级，例如100 或 10000 等等， Y 是粒径如 μ m , μ m等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。以下是几个例子：Class1 μ m, μ m , μ m) Class 100 μ m , μ m ) Class 100 μ m, μ m , μ m ) 在 Classes 100 and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。第二个是规定无尘车间的状态，例如：Class X (at Y μ m )， At-rest 第三个是自订微粒浓度上限， 一般在 As-built时无尘车间都很干净， 微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：Class 10000 μ m <= 10000) ，As-built Class 10000 μ m <= 1000) ， As-built 这样做的目的是确保无尘车间在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644 的等级定义 。Fed-Std-209E 洁净度定义Class Name Class Limits μ m μ m μ m μ m 5μ m Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units SI U.S. (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M 1 350 - - M 1 1,240 265 106 - - M 2 3,500 757 309 100 - - M 10 12,400 350 2,650 1,060 353 - - M 3 35,000 991 7,570 214 3,090 1,000 - - M 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - - M 4 - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - - M 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 M 5 - - - - - - 100,000 2,830 618 M 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 M 6 - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175 M 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700 M 7 - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750 ISO-14644 洁净度定义ISO classification number(N) Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered size...
