透射电镜技术指标(final)VIP免费

技术指标确认书 设备名称 数量 功能及技术参数 场发射高分辨透射电子显微镜 1 一、必要功能： 材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析； 二、辅助功能： 1、成分的定性和半定量分析； 2、元素的点、线和面分析 三、仪器工作条件 1、电源：220 V10 %，50 Hz1%，单相；380V (10%)，50Hz1%，三相； 2、配备相应的断电保护设备； 3、环境条件：10℃~ 30℃，相对湿度：70 %； 4、直流磁场：水平<80 nT；垂直<100 nT； 5、安装条件：独立地线：4 欧姆； 6、可不间断连续运行。 四、主要技术指标： 1、电子枪：肖特基场发射电子枪 2、点分辨率：≤0.19 nm 3、线分辨率：≤0.102 nm 4、加速电压： 80, 100, 120, 160, 200 kV （100 V/步可调） 5、加速电压稳定度：≤2ppm/min (峰峰值) 6、物镜最小聚焦步长：≤ 1.8nm 7、物镜球差系数：≤1.2mm 8、色差系数：≤1.4mm 9、物镜电流稳定性：≤ 2 ppm/min 10、最小束斑尺寸：透射模式(TEM)：2 nm；微区分析模式(EDS/NBD/CBD 模式)： 0.5 nm 11、电子衍射：最大会聚角(CBED) ≥ 100mrad (全角) 12、扫描透射(STEM) 1). 探头：高角环形暗场探头（HAADF） 2). 分辨率：≤ 0.2 nm 3). 最大 HAADF STEM 接收角：≥ 13° 4). 亮度：≥ 4× 107A/cm2/sr 5). 束流：1nm 束斑电流≥ 0.5nA 6). 能量分辨率：加速电压 200kV 下为 0.7eV 或更低 7). 束斑漂移：<1nm/min 8). 放大倍数：优于 50～100 万倍；放大倍数重复性：< 10% 9). 相机长度：80～2,000mm 10). 相机长度和放大倍数误差小于5% 13、样品室 1). 5 轴全自动马达台(X/Y/Z/Tilt X/Tilt Y) 2). 样品漂移：≤ 1 nm/min 3). 样品复位精度：具有记忆模式功能，将样品从一个位置移动到另一个位置，且 X、Y 方向复位精度由于200 nm 4). 更换样品及电镜底片时，更换样品时间小于15 分钟，更换底片时间小于30 分钟 5). 样品台移动尺寸：X ≥ 2mm，Y ≥ 2mm，Z ≥ ±0.1mm 6). 样品台倾斜角度： X ≥ ±25°，Y≥ ±25° 7). 样品台移动步长精度：优于3nm/步 8). 取出角：≥ 20° 14、真空系统 1). 离子泵、油扩散泵 2). 前级机械泵 3). 最优真空度：电子枪室：优于0.910-8Pa；样品室：优于210-5Pa 15、电镜安全保护： 1). 可以连续使用（电子枪可以连续工作不自动熄灭） 2). 断电、断水、失真...