MEMS在医学中的应用与发展 李晓云 机电学院 2120140162 1 序言 一个公认的事实是微电子是 20 世纪最有影响力的技术之一[1]。近半个世纪以来，微电子从粗糙的单一电晶体到集有数百万颗电晶体的微电脑芯片， 人类已经享受到他所带给我们无穷的方便与乐趣。如今，微电子产品几乎无孔不入地影响到生活的方方面面，而这不过是把电子这一部分缩小而已。试想，若也能把机械与光学部分缩小，是否会为我们的生活带来另一波的冲击？从另一个角度来看，若把微电脑比同人的脑部，我们是否仍欠缺感受与发出各类信息的眼、耳、鼻、舌与四肢？微机电系统科技就是这种能缩小机械、光学，且能感受声、光、电、磁、味、冷、热以及运动的系统科技，将是二十一世纪重要的产业科技，是智慧型高单价的产业技术[2]。MEMS 的特点之一就是其涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。 2 发展综述 目前微电子机械系统已广泛应用于生物医学、航天、军事、工业和农业等方面，并导致了人类认识能力和改造世界能力的重大突破，从而给国民经济、人民生活和军事国防带来了深远影响[3]。它已成为以美国、日本、德国为代表的许多发达国家研究的热点。 美国是最早研究并试制微机械成功的国家。美国对微机械的研究始于六十年代中期，于八十年代后期引起普遍重视。美国国家基金会于1988 年投入 10 美元科研启动费，支持8 所大学开始微电子机械系统的主要项目研究，1989 年又将经费增加到 200 万美元。此后，每年投入 500 万美元支持一些学校进行研究。1993年美国国家关键技术委员会在提交总统的报告中将“微、纳米级的制造”列为国家关键技术。以发展两用技术为宗旨的美国国际部高级研究计划局(ARPA)，在1995 年财年的计划中，将微电子机械系统视为直接关系国防与经济发展的高技术加以重点发展。此外美国航空航天公司在1993 年就微机械对未来航天系统的潜在影响进行了调查和评估[4]。上世纪 90 年代以后，美国开始在军用产品中推广使用MEMS 技术和产品。美国军事研究机构 DARPA(国防高级研究计划局)是 进行军用MEMS 研究项目的计划组织和推动机构。如美国军方推出的HI-MEMS计划中，将MEMS 器件作为昆虫仿生的重要领域；美国政府为了支持MEMS 发展，适时推出各种促进MEMS 发展的应用规定，如美国从2007 年开始已要求所有汽车采用轮胎压力监测系统(TPMS)和电子稳定控制器(ESC...
