MEMS基本知识 微电子机械系统包括微传感器和微执行器。目前最成功的推向市场是压力传感器和加速度传感器。许多公司都是以压力传感器的开发作为进入微机械领域的尝试，这是由于小型、便宜的压力传感器在汽车电子系统中有巨大的市场。展望二十一世纪初期的一二十年，MEMS 技术将会有更大的发展，新原理、新功能、新结构的微传感器、微执行器、微型机构以及微系统将会不断出现[10]。MEMS 究竟能以多快的速度出现在胎压监测、行动电话交换器与检测皮肤问题的新产品等主流应用中，尽管业界对此还没有一致的意见，但在频率组件中以MEMS 谐振器取代石英晶体等先进应用领域中，已为产业带来一种 MEMS 时代已经到来的新希望[11]。MEMS 技术的发展将像微电子技术一样，对科学技术和人类生活产生革命性的影响，并渴望形成类似于微电子的产业。 MEMS 技术的基本概念 微电子机械加工系统（Micro Electro-Mechanical Systems），英文缩写为MEMS，是微电子技术与机械加工技术结合的成功典范。MEMS 技术特点可由3 个M概括：即小尺寸（miniaturzation）、多样化（multiplicity）、微电子（micro electronics）。 MEMS 技术的主要技术途径有三种：一是以美国为代表的以集成电路加工技术为基础的硅微加工技术；二是以德国为代表发展起来的LIGA 技术（包括X 射线深度光刻、微电铸和微塑铸等加工工艺）；三是以日本为代表发展起来的精密加工技术。 在微小尺寸范围内，机械依据其特征尺寸可以划分为1-10 毫米的小型机械，1 微米-1 毫米的微型机械以及 1 纳米-1 微米的纳米机械。所谓 MEMS 从广义上包括了微型机械和纳米机械，但并非单纯微小化，而是指采用微机械加工技术可以批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口等于一体的微型器件和微型系统。MEMS 的诞生和发展，是新的高技术产业生长点，被认为将导致二十一世纪一场新的产业革命。 MEMS 技术的基本特点 具体而言，MEMS 微电子机械系统十分有效地将微电子技术与微机械技术结合，赋予了传统机械新的特性。MEMS 技术的基本特点有[12]： （1）微型化：MEMS 器件体积小、精度高、重量轻、耗能低、惯性小、响应时间短。其体积可达亚微米以下，尺寸精度达纳米级，重量可至纳克； （2）以硅为主要材料，机械电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨； （3）能耗低、灵敏度和工作效率高：很多的微...
