1、目的确保产品在检测设备异常期间，得到及时有效的检测，从而保证产品质量。2、适用范围适用于所有在线、离线检测设备。3、部门职责3.1 生产部：按照规定执行使用部门职责。3.2 质量部：① .负责挂牌和对应应急预案以及检测设备异常处理行动方案的监控和播报，在责任部门交付后进行验证，判断合格，给予复机批准。② .按照规定执行使用部门职责。③.监督此文件标准化执行。3.3 工艺部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与设备部负责人同时进行问题排查。若确认是由于软件原因造成的异常，由工艺部进行排查，排查完毕后在《检测设备宕机、屏蔽 / 复机记录单》中填写原因、措施、处理结果，处理完毕后交付给使用部门；3.4 设备部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与工艺部负责人同时进行问题排查，若确认是由于硬件原因造成异常的，由设备部填写原因、处理结果，处理完毕后、交付使用部门。3.5 通用职责：3.5.1 使用部门：发现自己使用的检测设备异常（不工作或测试异常）后，第一时间通知IPQC、相应责任部门负责人（可参照检测设备宕机责任部门表），并填写《检测设备宕机、屏蔽 / 复机记录单》。测试设备宕机维护责任部门岗位NO. 检测设备责任部门硅片检验1 GP-Waf-Q 工艺 / 设备2 Semilab-WMT 工艺 / 设备3 Nano-D/MCI-100 工艺 / 设备前清洗4 反射率测试仪工艺 / 设备扩散5 Semilab-SHR 工艺 / 设备6 Napson 工艺 / 设备后清洗7 GP边阻测试仪设备8 电子天平设备PECVD 9 GP-Col-Q 工艺 / 设备10 膜厚折射率测试仪工艺 / 设备丝网印刷11 电子天平设备分检12 GP-Cell-Q-FS/Manz 分色工艺 / 设备13 GP-Cell-Q-RS 工艺 / 设备14 在线 EL 设备15 离线 EL 设备16 金相显微镜工艺 / 设备可靠性17 衰减箱设备18 卧式拉力机设备温湿度19 液晶大屏温湿度计质量 - 计量3.5.2 异常原因排查超过60min ，现场的工艺监控，责任部门根据此文件给出应急预案给出，相应部门按照预案执行（若文件未涉及）。3.5.3 若需要屏蔽某处在线检测设备，申请屏蔽部门必须提出申请，填写《检测设备宕机、屏蔽/ 复机记录单》，交予工艺进行审核，审核通过后将表单交给IPQC，由责任部门进行实施屏蔽。3.6 使用部门定义：生产部：所有在线检测设备（安置在生产设备内的检测设备），称重天平，边阻测试仪；质量部：离线检测设备，包括Napson、椭偏仪、反射率测试仪，离线EL测试仪 ,卧式拉...
