烧结炉培训材料一、 功能及用途此烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有质成分、完成铝背场及珊线烧结。硅片在炉中，上、下两面能同时烧结，烧结过程如下：对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干；去除浆料中的有质粘结剂；铝背场及珊线烧结二、 烧结炉结构炉体分为三个部分：烘干区烘干区包括四个加热区：ZONE 1、 ZONE 2、 ZONE 3、 ZONE 4，其中 ZONE 4 为对流加热区，位于其它三个温区上部，每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝，ZONE1至 ZONE 3（115v 830w）。ZONE 4（230v,700w ）。加热温度可设置到500 摄氏度， 但过程温度不应超过300 摄氏度。烧结区烧结区包括六个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE 4、ZONE 5、ZONE 6，ZONE 1~4 为预烧结区， ZONE 5 和 ZONE 6 为主烧结区，加热元件为近红外线加热管，其中1~4 区加热管功率为 1600W，5、6 区加热管功率为2700W，每个温区温度单独可调，1~4 温区温度可设置到700摄氏度， 5、 6 温区可设置到摄氏1050 度。冷却区冷却区采用水冷，给水温度大约在20~25 摄氏度范围内。烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛，通过风帘隔离，隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。除了上述三个主要部分外，在炉体头部有上料区，在尾部有下料区，外加一个单独的冷凝器，冷凝媒介为冷却水。三、 CAN控制系统构成传动电机调速系统传 动 电 机 采 用 三 相 异 步 电 机 ， 速 度 调 节 是 采 用 闭 环 变 频 调 速 ， 控 制 框 图 如 下 ：温度控系统温度控制采用PID 控制，系统构成控制框图如下：冷却系统排风系统冷却系统和排风系统很简单，都采用开环系统。四、 操作开机步骤i.慢速开启冷却水主给水阀，给烧结炉供水。 通常各管道给水阀和流量已设定好，勿需调节。ii.慢速开启压缩空气主阀，炉子提供过程气体，同时给各气缸提供压缩空。通常各管道流量已设定好，勿需调节。iii.将主电源开关拨到“1”，开启主电源。iv.启动 PC，等待机器完成自检和监控程序装入。v.将“ Drive On ”拨到“ 1”，“Drive PC/Manual”拨到“ 0”，将“ Heating FF ”拨到“ ON”，将“ HEATING HTO”拨到“ ON”。vi.点击启屏幕上“Drive on/off” 收音开关，并按确认收音键，启动传送带。vii.如果有设置好的升温程序，顺序装入，使炉子逐步升温到过程温度。如果没有，则手动设置，每 ...
