． 全自动单晶炉操作手册 REV. MANUAL_ZJS.Z02 （ TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS 适 用） 2009 年05 月 上 虞 晶 盛 机 电 工 程 有 限 公 司 SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD 第- 1 -页 目 录 第一章 单晶生长条件…………………………………………………………………………2 1.1 设备要求…………………………………………………………………………………2 1.2 辅料要求…………………………………………………………………………………3 1.3 安全要求…………………………………………………………………………………4 第二章 单晶生长标准流程 …………………………………………………………………5 2.1 拆炉………………………………………………………………………………………5 2.2 装炉………………………………………………………………………………………6 2.3 开始单晶的生长…………………………………………………………………………8 2.4 抽真空……………………………………………………………………………………9 2.5 检漏………………………………………………………………………………………1 1 2.6 压力化……………………………………………………………………………………1 2 2.7 熔料………………………………………………………………………………………1 3 2.8 稳定化……………………………………………………………………………………1 5 2.9 熔接………………………………………………………………………………………1 6 2.10 引晶…………………………………………………………………… ………………1 8 2.11 放肩…………………………………………………………………… ………………1 9 2.12 转肩…………………………………………………………………… ………………2 0 2.13 等径…………………………………………………………………… ………………2 1 2.14 收尾…………………………………………………………………… ………………2 2 2.15 停炉…………………………………………………………………… ………………2 3 第三章 单晶生长辅助流程 …………………………………………………………………2 4 3.1 中途取晶…………………………………………………………………………………2 4 3...
