ASM 860 固晶机工程师培训资料 第 1 页 共 11 页 一、目的:规范固晶机工程师日常工作,确保产品质量的提高及工作效率的提升
二、对象:固晶机工程师 三、内容: 1
机械构成及维修 1
1 芯片控制器:由芯片工作台和推定器组成 1
芯片工作台主要由X 、Y 、θ 马达和扩晶环固定座组成 X、Y马达控制Ahead晶片时,移到当前晶片位置,θ 马 达是控制晶片的旋转角度,当启动工作台启动旋转功能后 θ 马达开始工作,当Ahead当前晶片角度偏移量大于我们设定值时,θ 马达会自动补偿角度偏差值
推顶器主要由顶针、顶针帽、推顶马达和XY位置调整 螺丝组成,顶针是工作中顶起晶片,晶片离开蓝膜使吸嘴 容易吸起晶片,顶针型号为0
022×10×17MM,顶针的目 使用寿命为1KK,当顶针拆损或者达到使用寿命后需要及 时更换
推顶马达是来顶起顶针,新更换顶针后,一般顶起主度不超过 2300,如果顶起高度小于2000时,需调整推顶马达推顶位置, 松开推顶马达固定推顶位置螺丝,可以用六角棒调整推顶初始位置
顶针帽是保护顶针受到外力损坏
XY位置调整螺丝是用来调整顶针位置,使顶针顶起芯片在中心点
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工作夹具:由叠式载具、工作夹具、输入/输出升降机组成 1
1 叠式载具由Load Left Pin、 Load right Pin、Separater和下料盒马达组成,Load Left Pin和 Load right Pin是用来调整支架接触时的中心点,一般中心点为22000,当马达失步时,需要对此中心点进行调整
Separater是支架接触到Load Left Pin和 Load right Pin后,用来分离支架,可以调整进出气压大小来调整Separater速度,X方向行程不可以调