1 量块 (0
5~1000)mm 一等及以下 JJG146-2003 2 金属线纹尺 (0~1000) mm U=(0
4 Lm JJG73-2005 3 玻璃线纹尺 (0~1000) mm U=(0
5 Lm JJG73-2005 4 激光干涉比长仪 (0~1000) mm U=(0
1 Lm k=3 JJG331-1994 5 激光干涉仪(线性定位精度部分) (0~1000) mm U=(0
4 Lm k=3 JJG739-2005 6 光栅、容栅、磁栅系统 (0~1000) mm U=(0
4 Lm k=3 JJG341-1994 7 位移传感器系统 (0~1000)mm U=(0
4Lm k=3 JJG836-1993 8 旋光标准石英管 -90°~+90° U=0
003°k=3 JJG864-1994 9 单刻线样板 m 5%~2% (k=3) JJG 2018-1989 10 多刻线样板 (0
1~10)m U99: (2~5)% JJG2018-1989 11 校对样板 (0
1~10)m U99: (2~5)% JJG2018-1989 12 干涉显微镜 H: (0
1~1)m ±(22~5)% JJG77-2006 13 双频激光干涉仪 (0-1000)mm (0
4L)μm (k=3) JJG739-2005 JJG 396-1985 14 激光测量系统 (0~10)m 5× 10-7L 15 双频激光干涉仪 (0~10)m 5× 10-7L 16 位移传感器 (0-1)m 0
16m+110-6 JJG836-1993 17 齿轮螺旋线样板 (0~90)、 L≤100mm (1
8)m /100mm,(k=3) JJG408-20