精品文档---下载后可任意编辑Fe2O3 电导气敏薄膜元件的开发中期报告现阶段，我们正在开发 Fe2O3 电导气敏薄膜元件，以下是我们的中期开发报告：1. 讨论 Fe2O3 薄膜的成膜工艺：我们进行了多次实验，利用磁控溅射法在玻璃基片上制备了 Fe2O3 薄膜。通过 SEM 和 XRD 等分析手段，确定了适宜的工艺参数和条件。2. 讨论 Fe2O3 薄膜的电性能：我们通过四探针法和电学测试仪器，测试了 Fe2O3 薄膜的电阻率和电导率。初步结果表明，在不同温度和各种气体环境下，Fe2O3 薄膜具有良好的电导气敏特性。3. 设计并制作了电极和基片：我们利用电子束光刻技术，设计了合适的电极形状，并制作了可重复使用的基片。4. 初步测试气敏特性：我们将制备好的 Fe2O3 薄膜元件集成在测试平台上，对其进行了初步的气敏性能测试。结果表明，该元件对不同浓度的烟雾具有良好的响应，具有一定的普适性。考虑到现在只是在中期阶段，我们还需要深化讨论和改善元件性能，提高其响应速度和选择性能。我们计划继续优化薄膜成膜工艺，并进行更加详细的电学性能测试，包括响应时间、灵敏度、稳定性等方面的测试，并进一步完善元件结构和设计。
