宁夏单晶炉拉晶作业指导票 高佳太阳能 受控状态 实施日期 2009年4月20日 适用 二单晶车间 受 控 实施责任者 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 承认 变更内容： 文件编号 版/次 总12 页 S/QW A /0 第1 页 一． 目的 将硅多晶及硅单晶转变成客户需要的硅单晶。 二． 适用范围 宁夏单晶炉 三． 使用设备及工具 ·宁夏单晶炉、真空泵（主/辅）、循环冷却水系统、氩气输送系统、 ·斜口钳、螺丝刀、不锈钢托盘、不锈钢推车、硅单晶专用取棒车、美工刀等 四． 材料 ·多晶硅、可回收利用的硅材料、掺杂剂、5个 9的高纯 Ar、可循环的软化冷却水、高纯石墨热场 ·一次性手套、防静电手套、乳胶手套、隔热手套、一次性口罩 ·无尘清洁纸 、无水乙醇 五． 环境要求 洁净房 六． 重要工艺参数 见《工艺参数卡》 七． 宁夏单晶炉面板介绍 手动菜单 炉台状态参数显示 籽晶、坩埚状态显示 控制状态显示 基本参数设置菜单 炉台状态 画面显示 自动菜单 自动状态参数显示 宁夏单晶炉拉晶作业指导票 高佳太阳能 受控状态 实施日期 2009年 4月 20日 适用 二单晶车间 受 控 实施责任者 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 承认 变更内容： 文件编号 版/次 总 12 页 S/QW A /0 第 2 页 八． 作业步聚 1. 热场组立 1) 按照《热场装配图》，将热场部件逐一装配组合。 ※ 注意外保温筒的测温孔与温度传感器对准，否则将无法用温度控制拉晶。 2) 点击【坩埚】键调出坩埚控制菜单，在方框内中输入想要的坩埚转速，按【OK】键确认，最后点击【ON】按钮让坩埚旋转来确认加热器是否与中轴同心，可以调整加热器的两个固定螺丝使中轴与加热器尽量调至同心。 3) 将石墨坩埚放入后再对中，确保坩埚四周与加热器的位置大于3mm，并尽量同心。 4) 将上保温筒装上，并用如上方法确保导流筒安装的与石墨坩埚同轴。 对中中轴与加热器同圆心 对中加热器与石墨坩埚 对上保温筒与石墨坩埚 ※ 热场组立完成后，控制状态不在原点的需要进行回原点。回原点前需要将炉体合拢，否则无法进行回原。点击【控制选择】调出菜单，点击回原点，点击执行后，籽晶、坩埚会进行归零限位，原点闪烁显示，待控制状态栏中原点点亮及完成原点操作。 2. 石英坩埚的安装 1) 取三张石墨纸条分别贴附在石墨坩埚的...
