精品文档---下载后可任意编辑InP 基光子晶体微加工与发光特性讨论的开题报告一、项目讨论背景随着信息技术的快速进展，光通信与光电子技术逐渐成为了当前讨论热点。光子晶体材料因其在光电子器件中的应用广泛，而受到了高度关注。因此，讨论光子晶体微加工技术，猎取新型光电材料，具有重要意义。InP 基材料具备良好的光学特性，被广泛应用于光器件中。InP 基光子晶体是一种表现出一定波长反射特性的光学材料，在获得应用上具备广泛应用前景，因此在光学领域得到了广泛关注。本课题主要根据 InP 基光子晶体的特性，讨论其微加工方法，以及不同的加工方式对其发光特性的影响。二、讨论目的1.讨论 InP 基光子晶体的制备工艺。2.利用微电子加工技术，制备 InP 基振荡腔光子晶体管。3.讨论微加工过程中的主要工艺参数对 InP 光子晶体管品质的影响。4.对 InP 光子晶体管的发光特性进行讨论。三、讨论方法1.采纳光刻工艺制备 InP 基光子晶体板。2.应用高温氧渗法制备出 InP 光子晶体，然后利用电子束光刻技术制备出具有不同两端类型和不同周期的振荡腔结构的光子晶体管。3.进行光谱特性测试，讨论微加工过程对 InP 光子晶体管品质的影响，用 SEM 对样品进行表面形貌分析以及 XRD 对晶体结构进行分析。四、讨论内容本课题主要分为以下几个方面：1.碳化硅模板制备。2.光刻镀膜条件的优化。3.高温氧渗法制备 InP 光子晶体板。4.电子束光刻制备振荡腔结构的光子晶体管。精品文档---下载后可任意编辑5.光谱特性测试及分析。6.SEM 测试样品表面形貌，XRD 测试晶体结构。五、预期讨论成果通过上述讨论方法和内容，本课题预期获得以下成果：1.成功制备出结构优良的 InP 基光子晶体板。2.在此基础上，成功制备出振荡腔结构的 InP 光子晶体管。3.对微加工过程中主要工艺参数对 InP 光子晶体管品质的影响进行系统讨论。4.对 InP 光子晶体管的光谱特性进行讨论，为其在光电子材料方面的应用打下基础。5.将讨论结果进行理论分析，提出在光子晶体微加工中方法和技术的优化建议。
