保护器件避免划伤和沾污 2
限制带电载流子场区隔离（表面钝化） 3
栅氧或存储单元结构中的介质材料 4
掺杂中的注入掩蔽 5
金属导电层间的电介质 6
减少表面悬挂键 2
化学反应：Si+2H2O->SiO2+2H2 水汽氧化与干氧氧化相比速度更快，因为水蒸气比氧气在二氧化硅中扩散更 快、溶解度更高 3
干氧：Si＋O2 SiO2 氧化速度慢，氧化层干燥、致密，均匀性、重复性好，与光刻胶 的粘附性好 2、水汽氧化：Si+H2O SiO2（固）+H2(气) 氧化速度快，氧化层疏松，均匀性差，与光刻胶的粘附性差 3、湿氧：氧气携带水汽，故既有 Si与氧气反应，又有与水汽反应 氧化速度、氧化质量介于以上两种方法之间 4
掺杂物、晶体晶向、压力、温度、水蒸气 5
界面陷阱电荷、可移动氧化物电荷 6
工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气系统、温控系统 4
工艺腔是对硅片加热的场所，由垂直的石英罩钟、多区加热电阻丝和加热管 套组成硅片传输系统在工艺腔中装卸硅片，自动机械在片架台、炉台、装片台、冷却台之间移动气体分配系统通过将正确的气体通到炉管中来维持炉中气氛 控制系统控制炉子所有操作，如工艺时间和温度控制、工艺步骤的顺序、气体种类、气流速率、升降温速率、装卸硅片
(1)薄膜：指某一维尺寸远小于另外两维上的尺寸的固体物质
好的台阶覆盖能力
高的深宽比填隙能力(>3:1) 厚度均匀(避免针孔、缺陷）
高纯度和高密度
受控的化学剂量
结构完整和低应力（ 导致衬底变形,
好的粘附性 避免分层、开裂致漏电） 2
（1）晶核形成 分离的小膜层形成于衬底表面，是薄膜进一步生长的基础
（2）凝聚成束形成(Si)岛，且岛不断长大 （3）连续成膜岛束汇合并形成固态的连续的薄膜 淀积的薄膜可以是单晶（如外延层）、多晶（多晶硅栅）和无
