振 镜 延 时 的 原 理 与调节 一共有 5 种延时分别为 开光延时,关光延时, 跳转延时, 扫描延时 ,曲线延时 下面分别介绍 1． Laser On Delay （开光延时）下面称 LOnD a. LOnD 的作用原理和发生时间 LOnD 发生在开光时 当振镜到达指定位置后 开始 Mark 运动，但并不同时出光 而是延时 LOnD 后出光 示意图 图 1 开光延时 这个值可以设为负值 当设置为负值 表示当振镜到达指定位置后 先出光 LOnD 后再开始 Mark 运动 b. 设置值的单位 这个值 在 Scanlab 和 Raylase 单位都为微妙（us） 但是 在 Raylase 中 此值的绝对值不能低于 50, 在 Scanlab 无此限制 c. 设置过大或者过小时的情形 设置 LOnD 过小时 可以看到开光处产生了爆点 (产生此情形的原因是 由于振镜开始运动速度低 而 LOnD 又过小 这时候出光 导致激光在开始处聚集 导致爆点) 图 2 开光延时太小 设置LOnD 过大时 可以看到开光处有一部分少刻了 (产生此情形的原因是 由于振镜开始运动 而 LOnD 过大 过了很久再出光 导致激光刻蚀时 已经离开开始点很远 导致有一部分少刻了) 图 3 开光延时太大 LOnD 设置一般和激光的开光状态相关 一般如果激光开光状态能量较强则 LOnD 设置也需要相应的增大一些 2． Laser Off Delay （关光延时）下面称 LOffD a. LOffD 的作用原理和发生时间 LOffD 发生在关光时 当振镜刻蚀到达指定位置后 要结束 Mark 运动，但并不同时关光 而是延时LOffD 后关光 示意图 图 4 关光延时 这个值可以设为负值 当设置为负值 表示当振镜还未到达指定位置前 LOffD 的时候 已经将光关闭 即提前关光 b. 设置值的单位 这个值 在 Scanlab 和 Raylase 单位都为微妙（us） 但是 在 Raylase 中 此值的绝对值不能低于 50, 在 Scanlab 无此限制 c. 设置过大或者过小时的情形 设置LOffD 过小时 可以看到关光处少刻了一段 (产生此情形的原因是 由于振镜结束 运动时由于指令和运动有时间差, 即指令认为已经到位 但实际还未到到位, 而 LOffD又过小 这时候关光 导致激光在结束处少刻一段) 图 5 关光延时太小 设置LOffD 过大时 可以看到关光处产生爆点 (产生此情形的原因是 由于振镜结束 运动时,振镜已经到位 , 而 LOffD 又过大 这时候还未关光 导致激光在结束处产生爆点) 图 6 关光延时太大 LOffD 的设置...
