AH9预留柜AH7出线柜 AH5避雷柜 AH1高压进线柜若水1#高压进线1#主变 2500KVACW1-4000/411AT111AT2-411AT611AT7 11AT811AT911AT1011AT11备用1AG4锅炉房UPS-D特气纯化器1AP13外延车间1AP5镀膜车间1AP17外延车间1AP3镀膜车间OAL真空泵1AAH1-1办公楼空调1AG1动力机房1AP21原玄照车间1AG2动力房1AP8成测车间1AP4镀膜车间电容补偿装置1ALH1-1车间照明3AP1废水站1AP12外延车间1AP7成测车间芯片新增RCU(走道）1AA3芯片空调4APH1品保实验室CH-11#冰机 AH3计量柜 11AT51EATATS备用电源1AP2光刻车间1AP10测量间烤盘炉1AP6切割研磨车间 AH4计量柜AH6避雷柜 AH8出线柜 AH10预留柜若水2#高压进线2#主变 2500KVACW1-4000/41EATS 11ATS112AT912AT1112AT1012AT812AT7 12AT6SAL-1配电房空调备用备用1AP14外延车间1ALH1-3办公楼3F备用厂务办公室1ALH1-1 1EATS常用电源CH-22#冰机1AP1清洗车间1AAER楼顶消防1APEH1-1应急照明备用1AP16外延车间备用1AG3动力机房1AGE1PCW1AP15外延车间1AXH1-1办公楼1F双电源柜AH2高压进线柜1AAER1AP22品保实验室4APE1消防泵房1AA1空调机房AH10预留柜12AT51AW1纯水1AAR楼顶动力电容补偿装置1AA2外延空调1AP11测量间烤盘炉12AT2-4备用
