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电子气体控制器的应用 上海睿熹科技有限公司 ShangHai Wise&Choose Technology Co.,Ltd 电子气体控制器的应用 目录 一、 气体质量流量控制器---------------------------------------------------------------------------------3 二、 气体压力控制器---------------------------------------------------------------------------------------6 三、 气体背压控制器---------------------------------------------------------------------------------------1 0 四、 气体压力、流量控制器的多模块的应用---------------------------------------------------------1 4 五、 气体压力、流量控制的具体应用案例------------------------------------------------------------1 7 2电子气体控制器的应用 一、 气体质量流量控制器 气体稳流是在关注的气体流路中与外部气体负载和上游的压力 （在气体负载的允许范围内）的变化无关，始终保持恒定的气体流量。在气体流路中要保持恒定的流量，传统的控制方式采用气体稳流阀部件。气体流路如图： 气源减压阀稳流阀气体负载出口关注气体流路上游压力气体流量F 传统稳流阀 传统稳流阀都以机械动作来控制气体流路中的流量，无法真正的显示出当前的流量值，只能通过辅助工具（测量气体流量）检测气体流量后，就以此固定。稳流阀的缺点如下： 1. 气体流量的重复性差： 使用机械旋钮进行调节其内部的针型阀的阀芯的开度，受人为和外界的影响比较大，一次性差。 2. 气体流量的在线性差： 无法实时显示当前的气体流量，只能使用辅助工具来测量。 3. 气体流量控制精度差： 气体流量控制精度完全是依赖于测量气体流量的辅助工具，并也无法保证其运行过程中的气体流量值的正确性。 3电子气体控制器的应用 4. 气体流量控制的自动化程度差 当需改变气体流量时，需人为的去调节其阀体旋钮，并进行测量其流量，操作比较麻烦，自动化程度差。 气体质量流量控制器 由上海睿熹科技有限公司开发研制的气体质量流量控制器MFC-1000 系统产品，是一种气体电子流量控制器，是由气体质量流量传感器和电子比例阀组成的一种电子闭环控制回路，并采用先进的计算控制算法（PID），根据预设置的气体流量和关注气体流路中的流量的差值，调节电子比例阀的阀芯开度，以致调节到气体流路上的流量逼近至所设置的流量值。其控制方式如下： FS气源输入流量设定值比例阀控制信号反馈信号流量信...