54—6 电容式传感器的应用 由于电子技术的发展，成功的解决了电容式传感器存在的技术问题，为电容式传感器 的应用开辟了广阔前景
它不但广泛地用于精确测量位移、厚度、角度、振动等机械量，还 用于测量力、压力、差压、流星、成分、被位等参数
下面就其主要应用作简单介绍
一、电容式差压变送器 电容式差压变送器是 70 年代的新产品，它具有结构简单、小型轻量、精度高(可达 o．25％)、互换性强等优点
目前已广泛应用于工业生产中
该变送器具有如下特点： (1)变送器感压腔室内充灌了温度系数小、稳定性高的硅泊作为密封液； (2)为了使变送器获得良好的线性度，感压膜片采用张紧式结构； (3)变送器输出为标准电流信号， (4)动态响应时间一般为 o．2—15s
图4—29 为电容式差压变送器的结构图
图4—29(6)为二空结构的电容式楚压变送器，图中 I、2 为测量膜片(或隔离膜六J，它 们与被测介质直接接触，3 为感压膜片，此膜片在圆周方向张紧，1 与3 膜片间为·—室，2 与3 膜片间为另一室，故称为二室结构
其中感压膜片为可动电极，并与固定电极 4、5 构 成差动式球—平面型电容传感器(”I 和 c”
固定球面电极是在绝缘体 6 上加工而成
绝缘 体一般采用玻璃或陶瓷，在它的表面上蒸镀一层金属膜(如铝)作为电权
感压的挠曲变 形，引起差动电容 cL 和 c”变化，经测量电路将电容变化量转换成标准电流信号
因 4—29(6)为一室结构的电容式差压交道器
图中 1、2 为测量膜片，它们与被测介质 接触
3 为可动乎板电极，中心轴4 把1、2、3 连为一体，片簧5 把可动电极在圆周方向张 紧
在绝缘体6 上蒸镀金属层而构成固定电极7、8，并与可动电极构成平行扳式差动电 容
在可动电极与测量膜片间充满硅油作为密封刘，并有通道经节梳孔9 将两电容连通， 所以称为一室结构
当两边被测压
