1 、真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态 2、真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高” 和“真空度低” 来表示
真空度高表示真空度“好” 的意思,真空度低表示真空度“差” 的意思
3、真空度单位 通常用托(Torr)为单位,近年国际上取用帕(Pa)作为单位
1 托=1/760 大气压=1 毫米汞柱 4、托与帕的转换 1 托=133
322 帕 或 1 帕=7
5×10-3 托 5、平均自由程 作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ ”表示
6、流量 单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q” 表示,单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)
7、流导 表示真空管道通过气体的能力
单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差
符号记作“U”
U=Q/(P2- P1) 8、压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“P” 表示
9、标准大气压 压强为每平方厘米 101325 达因的气压,符号:(Atm)
10、极限真空 真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空
通常真空容器须经 12 小时炼气,再经 12 小时抽真空,最后一个小时每隔 10 分钟测量一次,取其 10 次的平均值为极限真空值
11、抽气速率 在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速
即 Sp=Q/(P-P0) 真空常用数据及单位换算 1、真空区域划分 真空区域 压强范围 托(Torr) 帕(Pa) 低真空 760~10 101325~1333 中真空 10~10-3 1333~1
33×10-1 高真空 10-3~10-8 1
33×10-1~10-6 超高真空 10-8~10-12 10-6~10-10 极高真空