石 英 坩 埚 小 结 一 石 英 坩 埚 的 历 史 和 现 状 1
早 期 石 英 坩 埚 早 期 的 石 英 坩 埚 是 全 部 透 明 的 ， 最 早 期 的 石 英 坩 埚 是 全 部 的 透 明 的 结 构 ， 这 种 透明 的 结 构 却 容 易 引 起 导 致 不 均 匀 的 热 传 输 条 件 ， 增 加 晶 棒 生 长 的 困 难 度
所 以 这种 坩 埚 基 本 被 淘 汰 使 用
现 代 的 石 英 坩 埚 现 代 拉 单 晶 的 石 英 坩 埚 一 般 是 采 用 电 弧 法 生 产 ， 半 透 明 状 ， 是 拉 制 大 直 径 单 晶硅 ，发 展 大 规 模 集 成 电 路 必 不 可 少 的 基 础 材 料
现 代 的 石 英 坩 埚 则 存 在 二 种 结 构 ，外 侧 是 一 层 具 有 高 气 泡 密 度 的 区 域 ， 称 为 气 泡 复 合 层 ， 内 侧 则 是 一 层 3~5mm 的透 明 层 ， 称 之 为 气 泡 空 乏 层
气 泡 复 合 层 的 目 的 是 在 与 均 匀 的 辐 射 有 加 热 器 所 提供 的 辐 射 热 源
气 泡 空 乏 层 的 目 的 在 于 降 低 与 溶 液 接 触 区 域 的 气 泡 密 度 ， 而 改 善单 晶 生 长 的 成 功率及晶 棒 品质
二 国内 石 英 坩 埚 的 情况分析 国内 石 英 坩 埚 厂家有 ：锦州圣戈班、荆州菲利华、扬州华尔、宁波宝斯达、余姚通 达、杭 州大 和 等
锦州圣戈班、荆州菲利华、扬州华尔,他 们 的 工 艺 采 用 真 空 熔 融 法 ， 外 几 家采 用的 是 涂 层 法 ， 即 在 坩 埚 内 壁 用 精 细 石 英 砂 喷 涂 到 坩 埚 表 面 大 约 1~2mm 左 右
涂的 不 均 匀 ， 这 就 会 造
