石英玻璃之洗净方法 石英玻璃在半导体工业设备上，使用温度经常在1000℃至 1300℃之高温状态，在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生，失透之部分为石英之晶质化，晶质化之变态点为 275℃，当石英玻璃自高温降至此变态温度时，表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状，更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久，就必须注意防止造成石英失透产生的原因，而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃… … 等等。且 0.1mg/cm2l}k 就会造成数十倍或数百倍的失透量。 因此，防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外，使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。 一般石英之洗净须要一些程序，首先用纯水先冲洗表面，再置入酸洗槽内浸泡一些时间，取出后再用纯水冲洗后晾干。 酸液之种类如下： ◆ 种类/项目 浓度 时间 P_! ◆ 氟酸（HF） 47.0%~52.0% 1~2 分钟 ◆ 氟酸（HF） 5.0%~10% 10~15 分钟 ◆ 氟酸+硝酸 50%+65% 10~15 分钟_ ◆ 氟酸+硫酸 50%+65% 10~15 分钟 石英玻璃专利技术 1、玻璃质材料管,特别是石英玻璃管的制造方法 2、不透明石英玻璃的制造方法、适于执行该方法的 SiO 颗粒和由不透明石英玻璃构成的部件 g` 3、不透明石英玻璃管生产用的硅石粉料坨的生产方法 4、采用溶胶-凝胶法制备高纯石英玻璃的方法 5、彩色石英玻璃管的制造方法 6、超细石英玻璃管及其生产方法和设备 7、大尺寸石英玻璃管的制造方法 8、大尺寸石英玻璃熔化炉 9、电阻炉生产石英玻璃的投料器 10、多点夹持牵引式石英玻璃拉管装置 11、二氧化硅粒子、合成石英粉、合成石英玻璃的合成方法 12、辐照输液器中的石英玻璃管件 13、高耐久性石英玻璃，其制造方法，使用它的部件及装置 14、合成石英玻璃制造方法 15、环形石英玻璃管制作机 16、黄色滤光石英玻璃及其制造方法 17、堇青石--熔融石英玻璃质稀土粉料煅烧皿 18、可多次使用的石英玻璃生产用石墨坩埚 19、立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法 20、内外经分别相等的石英玻璃厚壁管一次成型装置 21、耐高温低膨胀高硼含量封接玻璃的制备工艺 22、耐受激准分子激光的石英玻璃制造方法和石英玻璃部件 23、能吸收紫外线的透明石英玻璃及其用途 24、气炼法生产不透明乳白石英玻璃 25、溶胶-凝胶法生产...
