目前，航空航天、深水探测、国防军工等多项事业都在高速发展, 对高性能的钛、锆等活泼金属材料的各项性能提出了更高、更苛刻的要求, 原有的真空自耗电弧炉由于其结构和功能设计上的限制, 已经无法满足这些要求, 因而研制技术先进、自动化程度高、 满足工艺要求的真空自耗电弧炉已势在必行。真空自耗电弧炉的电子称重系统用于称量电极在熔化过程中的剩余重量, 一方面与计算机控制系统相配合, 实现恒熔速控制, 另一方面对熔炼工艺进行量化,即准确知道熔化过程是否该结束及结束前进行自动降电流补缩, 即对熔炼工艺过程进行量化控制。 以ALD 的真空自耗电弧炉为例(见下图)，在炉头上一般装有三个高精度传感器, 信号进入PLC 系统，工业控制计算机实现恒熔速、恒熔池深度控制,同时可使操作人员在熔炼过程中随 时在计算机液 晶 显 示 屏 上直 接 看 到 自耗电极的剩余重量, 当 自耗电极重量为零 时电源自动跳 闸 , 有利 于安 全 操作。对于称重传感器的要求非 常 高-----高精度、抗 干 扰 性强 ，另外 称重系统的动态 测量特 性要好 。 恰好，森玛特的丹麦Eilersen（艾勒森）全数字称重系统可以很好的满足以上要求， 与传统的应变式称重系统相比，艾勒森采用了电容式测量技术，拥有国际专利，测量精度高，传感器本身精度可达1.5/10000，传感器变形量极小只有0.1mm， 称量速度快，最高可达1000 次/S,传感器输出数字信号，抗干扰性能强，分辨率高，传感器本身分辨率可达100kg分辨到200mg。实际应用稳态可达1/50000。 目前在光伏行业的蓝宝石晶体生长炉上应用广泛！ 效果显著！ 下 图 为 基 于 两 种 不 同 测 量 技 术 的 常 规 悬 臂 梁 传 感 器 。 图 2为 传 统 的 应 变 式 传 感 器 ，应 变 计 通 过 特 殊 的 胶 粘 贴 在 弹 性 体 表 面 ， 弹 性 体 受 力 产 生 应 变 时 会 使 得 应 变 计 电 桥的 电 阻 值 发 生 变 化 ， 传 感 器 的 过 载 能 力 不 允 许 超 过 额 定 载 荷 的 200%，否 则 会 损 坏传 感 器 的 测 量 特 性 。图 1为 Eilersen 基 于 电 容 式 测 量 原 理 的 传 感 器 ， 其 核 心 为 一 陶 瓷 厚 膜 电 容 测 量 元件 ， 放 置 在 传 感 器 弹 性 体 内 ， 并 不 与 弹 性 体 直 接 接 触 ， 因 ...
