第四编 等离子电视制造设备第一章 第一节 湿洗装置 1.前言最近等离子电视在各地常能看到，机场、展示会等大型显示器都用等离子电视。其屏幕大视角广、精度高的特点很显著，并且逐步解决了质量轻、耗电量低、价格低的课题。清洗装置也被要求具有高处理能力、高能清洗时要求节约空间、等离子电视向生产的低成本化进展也在不断讨论。2.关于清洗装置的想法2.1 高吞吐率 伴随基板向大型化进展，高吞吐率是降低运行成本的最重要的项目。为实现高吞吐能力就以下项目讲述。① 去除粒径大的微粒（ 10um 以上）使用刷子及洗涤剂，如何提高效率是重要的 。关于洗涤剂的选择，要看微粒的性质是有机质还是无机质、附着物是化学的还是物理的、是否与电气相结合，这些方面也要鉴别选择。例如使用由无机碱系的界面活性剂与溶剂构成的洗涤剂时,假如是清洗只是由有机质和无机质构成的微粒,其洗涤剂可以以前者为主体。即使是有机质微粒,假如是树脂系（含粘接剂）的微粒,也要选择溶剂含有量多的。并且需要设定适当的浓度温度条件。去除物理的附着微粒时刷子最适合，特别是线径为 0.15~0.2mm 的尼龙刷子 较好。② 快速排掉大型基板上的清洗水，实现高处理率 。 各槽使用过的清洗水/洗涤水怎样不会被带入下一工序，如何保持含微粒的洗涤水的清洁性是很重要的。为此采纳使用高压缩空气的液体切割（liquid cutter）。我公司作为别的解决方案，采纳新开发出 Air jet shower(A/J)。如图 1 所示。此方法即纯净水→纯净水+空气（2 个水流）→间歇高压缩空气的工序在数秒内重复、纯净水挨着基板的部分不会形成多余的水膜，并且有防止带入下一工序的作用。2 个水流的喷头还具有气穴现象。该法有助于提高清洗度、增加排水效果、缩短清洗装置的长度,从而实现高处理效率。2．2 取代 UV 改质的等离子改质（常压） 清洗装置表面改质是重要项目、是在层压或者电阻涂敷中必须进行的。以往的依赖 UV 照射进行改质,今后以等离子照射(常压)主流。本公司从 2001 年开始开发销售常压等离子装置。其理由是运行成本低。为进行表面改质,用空气引起等离子也可以,一般需要 N2、Ar、O2等气体。即使使用价格高的气体，估计运行成本能够削减 50%~70%。现在已经在 LCD 的前工序、后工序、模块工序、彩色过滤及 OLED 的制造工序或者 ITO、Cr 喷镀前工序开始讨论采纳，我认为接着将用于等离子电视工序中。 2．3 空气切割刀干燥干燥以气割刀为主体，气割基板 6...
