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微电子行业入门通用教材

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半导体基础知识与晶体管工艺原理目 录第一章 半导体的基础知识1-1 半导体的一些基本概念 1-1-1 什么是半导体?……………………………………………………4 1-1-2 半导体的基本特性………………………………………………. .41-1-3 半导体的分类……………………………………………………...41-1-4 N 型半导体和 P 型半导体……………………………………….51-1-5 半导体的导电机构……………………………………………….61-2 P-N 结………………………………………………………………………9 1-2-1 P-N 结的构成…………………………………………………….91-2-2 P-N 结的载流子运动和平衡…………………………………101-2-3 P-N 结的基本特性………………………………………………10 1-3 二极管………………………………………………………...……………12 1-3-1 二极管的基本构成………………………………………………..12 1-3-2 二极管的特性曲线(伏安特性)………………...…………….121-3-3 二极管的分类……………………………………………………13 1-4 晶体管(仅讲双极型)……………………………………………………13 1-4-1 晶体管的构成…………………………………………………….13 1-4-2 晶体管的放大原理……………………………………………….15 1-4-3 晶体管的特性曲线……………………………………………….18 1-4-4 晶体管的分类…………………………………………………….21 1-4-5 晶体管的主要电参数…………………………………………….21 第二章 晶体管制造工艺与原理2-1 典型产品工艺流程……………………..…...………………………………24 2-1-1 晶体管的基本工艺流程…………………………………………..242-1-2 典型产品的工艺流程…………………………………...…………242-2 晶体管制造主要工艺的作用与原理……………...………………………..252-2-1 氧化工艺…………………………………………………………..252-2-2 扩散工艺…………………………………………………………..26 2-2-3 离子注入工艺……………………………………………………..302-2-4 光刻工艺…………………………………………………………..312-2-5 蒸发(真空镀膜)工艺…………………………………………..322-2-6 CVD 工艺…………………………………………………………..332-2-7 台...

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