某电子企业酸性废气治理工程实例摘要：某電子企业在生产过程当中产生的酸性废气具备腐蚀性、有毒有害的特点。本文以某电子企业酸性废气治理工程为例，采纳“两级碱喷淋塔”工艺，废气处理效率高于 95 %。工程实例表明“两级碱喷淋塔”处理工艺可达到深度净化、经济可行、稳定性高的效果。电子元件的超声清洗、前清洗、腐蚀、蚀刻、淀积、去污、背面蒸发等生产工艺中，因原辅材料的使用容易产生酸性废气。某电子企业的主要产品为铝电解电容器和电源基板，由于硅片清洗、氧化膜腐蚀、沟槽刻蚀和化学镀镍等生产过程当中需要使用大量盐酸，因此该企业产生了大量有组织酸性废气，主要成分为氯化氢，该酸性废气具备腐蚀、有毒有害特性，对周边环境和人身安全可能会产生严重影响[1]，合理收集和有效净化处理酸性废气已成为该企业实现清洁生产的关键。目前国内外对酸性废气净化手段主要包括吸附法、化学法及湿式高压静电法等[2]。吸附法利用活性炭等吸附剂的未平衡和未饱和分子引力或者化学键力特性对气态分子进行捕捉[3]，使气体污染物浓聚并吸附在活性炭表面，由此实现废气净化。该方法操作原理简单，吸附量大，热稳定性好，但净化效率不高，且活性炭消耗量大，具备饱和性，需要定期进行更换。化学法[2]是利用酸碱中和原理实现废气的净化，如碱喷淋塔处理工艺，该工艺利用高速运转的风机和喷嘴，使吸收液充分雾化，加大吸收液与酸性废气的接触面积，达到净化目的。碱喷淋塔净化效率高，经济可行，技术成熟稳定性好，但需要持续加入调配好的吸收液[4]。湿式高压静电法主要通过带电电极放射出电子，把废气电离成正负离子，酸性颗粒碰到电子而产生电荷，荷电后的酸性颗粒向电性相反的电极移动后，移向沉淀电极并将电荷传给沉淀极，失去电荷后的酸雾颗粒靠自重流向设备底部而得以去除;该方法对酸性废气去除率高，但耗电量大，投资成本较高。不同净化技术各有优缺点及其使用范围，电子企业产生的酸性废气腐蚀性强，但现有酸性废气处理装置不能满足去除率大于 95%且废气稳定达标排放的要求，综合废气特性、净化效果、经济成本、稳定性等因素，该企业采纳喷淋塔以达到酸性废气处理高效、经济的效果。1 废气特性和处理要求1.1 废气处理要求该企业工艺废气中的氯化氢执行《大气污染物综合排放标准》（GB12025-0596）二级标准，氯化氢最高允许排放浓度 30mg/m3，最高允许排放速率 0.43kg/h，排气筒高度 20m。1.2 设计工艺流程为了进一步保证企业生产过程当...
