光 电 测 量 系 统 设 计---- 基 于 干 涉 方 法 测 量 压 电 陶 瓷 微 小 伸 长 量指 导 老 师 ：朱 海 东 樊 敏姓名：陈 权学号：2025031053班级：电 科 132 班时间：2025年 11 月 7 日摘 要本 次 实 验 为 光 电 测 量 系 统 设 计 ， 从 而 测 量压 电 陶 瓷 由 于 加 热 而 产 生 的 微 小 形 变 量 ， 故需 要 掌 握 干 涉 和 衍 射 的 基 本 原 理 和 产 生 条 件，结 合 相 关 仪 器 软 件 完 成 对 光 电 探 测 器 的 设 计。首 先 是 对 通 过 杨 氏 双 缝 干 涉 ， 夫 琅 禾 费 衍 射，PSD 微 小 位 移 测 量 实 验 对 理 论 知 识 的 补 充 和 了解 ， 并 对 测 量 系 统 的 搭 建 有 一 个 大 概 的 构 思。然 后 在 机 房 通 过 仿 真 软 件 ZMAX 完 成 扩 束 准 直 系统的设计，ZW CAD 绘制出探测器的光学结构（ 探 头 主 体 、 底 座 、 支 杆 等 ） ； 最 后 ， 进 行了 光 纤 端 面 处 理 和 光 纤 传 感 综 合 实 验 。关 键 词 ： 光 电 测 量 系 统 ； 干 涉 ； 衍 射 ； 探测 器 ； 光 纤 实 验目 录论 文 总 页 数 ： 11页1. 简介..................................................................11.1. 实验目的及内容....................................................12. 干涉及衍射原理........................................................12.1. 干涉..............................................................12.1.1. 干涉原理......................................................12.1.2. 干涉条件......................................................22.1.3. 实现光束干涉的基本方法........................................22.2. 衍射..............................................................22.2.1. 衍射原理......................................................22.2.2. 衍射分类......................................................23. 干涉仪................................................................24. 整体结构...........................................................
