山东大学仪器设备采购技术条款一览表采购人要求（用户填写）配置序号配置名称详细技术参数要求数量备注1飞行时间质谱真空腔体真空腔体主要由三部分组成，包括：束源室、离子加速-无场飞行室和速度成像室
具体部件和服务包含且不少于下述等：名称 材料 数量装配运输 1光电子脱附室 304 1透镜室 304 1反射室 304 1RF 光电子脱附室 304 1 源室 304 1支架加工 304 1CF200 法兰 304 7CF150 法兰 304 5CF100 法兰 304 5观察窗 304 2整套腔体技术指标要求：★腔体尺寸：长度不小于 2
2m，宽度不小于0
9m按需求方要求设计图纸真空度优于 1
0*10-6pa焊接处平滑按期送货并且完成安装离子加速-无场飞行室末端配有反射式飞行时间真空腔体，质谱分辨率优于 3500
速度成像室选质分辨率优于单位质量分辨（指标样品为 197Au+离子）；能谱能量分辨率优于5%
上述真空腔体要求：1)表面无划痕、无毛刺2)焊接和零件按真空法律规范仔细清洗3)氩弧焊接，外部填料加强焊，内部满焊4)焊接时要求四角垂直5)焊后加工六个平面时要求相邻面垂直度误差小于 0
1mm，同轴线上的各孔同轴度误差小于 0
6)焊后电解抛光处理，氦质谱捡漏
配件：1)满足仪器性能指标的溅射光组件：532nm 反射镜2)满足仪器性能指标的脱附光组件：532, 355, 1064nm 反射镜3)满足仪器性能指标的激光调试镜架，三维移动台，平凹透镜等4)进气接头：含接头、铜管等，仪器所有阀门、接头需采纳 Swagelok 品牌产品
5)脉冲阀驱动电路系统一套1 套国内自加工6)团簇源组件一套7)成像区组件，包括电磁屏蔽筒等8)聚焦镜，引出/引入场电极，加速片，质量门及镀金、消磁工艺
9)气 路 系 统 ， 即 配 气 瓶 一 套 （ 阀 门 需 采 纳Swagelok
