第九讲：真空系统组成元件[简介]: 真空系统是由真空泵、真空测量装置、真空阀门、连接导管以及捕集器、除尘器、真空继电器规头等元件，经过精心组装而成的。它能在人们所期望的时间内将被抽容器内的压力降低到所要求的真空度。由于真空泵和真空测量仪器前面已经讲述，这里仅介绍真空阀门和捕集器。一、真空阀门1．概述 在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。 真空阀门在真空系统中的作用是： (1)开关气路 如图 1 所示，当阀 1 和阀 4 关闭，阀 2 打开时，机械真空泵Ⅲ对容器 I 抽真空，气流流经预真空抽气管路；当阀 2 关闭，阀 4 打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空；当阀 1 和阀 4 同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。 (2)控制气流大小，调节真空度在图 1 中，调节阀 1 的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小；关闭阀 2 和阀 4，通过放气阀 3 可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气；通过放气阀 5 可以调节容器内的真空度。 (3)定量充气如图 2 所示，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体；当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。 真空阀门的种类繁多，通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类，其分类见表 1。 真空阀门的型号编制方法国家专业标准作了规定，可查阅有关标准。表 1 真空阀门分类分类方法名 称根据阀门的职能低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门根据结构塑式挡板阀、翻板阀，碟阀、隔板阀、闸阀、针阀、插板阀根据驱动方式手动阀、电动阀、手电两用阀、电磁阀、气动阀、液压真空阀 根据材料金属真空阀、玻璃真空活塞(考克)、塑料阀根据用途截止阀、隔离阀、放气阀、节流阀、换向阀、封闭送料阀根据通道方式脚阀、直通阀、双通阀、三通阀、四通阀2．真空阀门的几种典型结构 (1)隔膜阀 隔膜式真空阀是利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。如图 3 所示，转动手轮可带动阀杆上、下移动，使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。此种阀门如采纳丁晴橡胶隔膜，适用于前级和预抽管道上及温度为-25～80℃的非腐蚀性气体。如采纳氟橡胶隔膜，可用于高真空...
