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第1页共25页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共25页目录0.目录(Tableofcontent)1.大纲(Introduction)1.1范围(Scope)1.2目的(Purpose)2.引用文件(Referencedocument)3.名词定义(Definition)4.无尘室管理规范程序4.1无尘室洁净度等级区分及区域定义4.1.1面板前段工厂4.1.2面板后段工厂4.1.3模块工厂4.2无尘衣/鞋/帽穿著使用规定4.2.1无尘衣等级区分4.2.2无尘鞋等级区分4.2.3无尘帽等级区分4.2.4各区无尘衣穿著规定4.2.5无尘衣换洗规定4.2.6无尘衣之破损与缝补第2页共25页第1页共25页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第2页共25页4.3无尘室进入资格之取得4.3.1一般员工4.3.2高阶主管4.3.3来宾(厂商)4.3.4无尘室进入资格取得之流程4.4无尘室进入资格之取消4.5无尘室资格考试4.6无尘室进出管制规定4.6.1人员之限制4.6.2物品之限制4.7进入无尘室之程序4.7.1人员进入无尘室之流程4.7.2物品进入无尘室之流程4.7.3仪器设备进入无尘室之流程4.8无尘衣穿著程序4.8.1连身式无尘衣穿著程序4.8.2披肩式无尘衣穿著程序4.8.3大衣式静电袍穿著程序4.9无尘衣穿著步骤第3页共25页第2页共25页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第3页共25页4.9.1连身式无尘衣穿著步骤4.9.2披肩式无尘衣穿著步骤4.9.3大衣式静电袍穿著步骤4.10无尘衣穿著注意事项4.11无尘衣穿著检查要项4.12无尘室一般禁止及注意事项4.13黄光室特别注意事项4.14来宾(厂商)进入无尘室注意事项4.15无尘室安全注意事项4.16无尘室环境条件控制5.使用表单(Formused)6.变更记录(ChangeRecord)第4页共25页第3页共25页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第4页共25页1.大纲(Introduction)1.1范围(Scope)凡进入无尘室内所有人、机器设备、物品、原物料、产品……等,均属本规范之管制范围。1.2目的(Purpose)为维持无尘室内洁净度,管制污染源控制环境参数,特对于无尘室内之人、机器设备、物品、原物料等加以管制,以便能确保无尘室内洁净度符合产品制程之需求,提高产品品质。2.参考文件(ReferencedDocument)美国联邦标准209D(U.S.FEDERALSTANDARD209D)MS-5103无尘无菌室运转管理指针(GUIDANCEFOROPERATIONOFCLEANROOM)3.名词定义(Definition)本规范除下列所述名词外,均依照JISZ8122(ContaminationControl术语)。无尘室Particle被控制在规定值内之房间粒子(Particle)一般而言指0.001至1000μm之粒径的固体或液第5页共25页第4页共25页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第5页共25页体之物质4.无尘室管理规范程序4.1无尘室洁净度等级区分及区域定义4.1.1面板前段工厂A区(Class100级):包含黄光室及组合室。B区(Class1000级):除A、C区以外之其它面板前段生产区。C区(Class10000级):包含投片室。4.1.2面板后段工厂D区(Class1000级):面板后段无尘室(液晶注入室)。E区(Class1000级):面板后段贴片区(CleanBooth内)。F区(Class10000级):面板后段一般区。4.1.3模组工厂G区(Class1000级):模组无尘室(COG室)。H区(Class1000级):模组組裝区(CleanBooth内)。I区(Class10000级):模组一般区。4.2无尘衣/鞋/帽穿著使用规定第6页共25页第5页共25页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第6页共25页4.2.1无尘衣等级区分连身式无尘衣:Class100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、淡黄色(蓝色为工程员使用、绿色为施工及未认证人员使用、淡黄色为来宾使用)。披肩式无尘衣:Class1000级、白色、蓝色、淡黄色(蓝色为工程员使用、淡黄色为来宾使用)。大衣式静电袍:Class10000级、白色、蓝色、淡黄色(蓝色为工程员使用、淡黄色为来宾使用)。4.2.2无尘鞋等级区分长统式无尘鞋:Class100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、黄色(蓝色为工程员使用、绿色为施工及未认证人员使用、黄色为来宾使用)开孔式静电鞋:Class10000级、白色(来宾使用不织布鞋套)。4.2.3无尘帽等级区分连身式无尘帽:Class100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、黄色(与无尘衣连在一起)。披肩式无尘帽:Class1000级、白...

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