第4章电感式传感器4.1变磁阻式传感器4.2差动变压器式传感器4.3电涡流式传感器•电感式传感器的工作基础:电磁感应•即利用线圈电感或互感的改变来实现非电量测量被测物理量(非电量:位移、振动、压力、流量、比重)线圈自感系数L/互感系数M电压或电流(电信号)电磁感应测量电路•分为变磁阻式、变压器式、涡流式等•特点:–工作可靠、寿命长–灵敏度高,分辨力高–精度高、线性好–性能稳定、重复性好4.1变磁阻式传感器(自感式)4.1.1工作原理变磁阻式传感器由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料制成。A1L1线圈铁芯衔铁L2A2W在铁芯和衔铁之间有气隙,传感器的运动部分与衔铁相连。当衔铁移动时,气隙厚度δ发生改变,引起磁路中磁阻变化,从而导致电感线圈的电感值变化,因此只要能测出这种电感量的变化,就能确定衔铁位移量的大小和方向。A1L1线圈铁芯衔铁L2A2W线圈中电感量可由下式确定:WLII根据磁路欧姆定律:mRIW式中,Rm为磁路总磁阻。(4-1)(4-2)气隙很小,可以认为气隙中的磁场是均匀的。若忽略磁路磁损,则磁路总磁阻为121122002mLLRAAA(4-3)通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻,即222001110022AlAAlA(4-4)则式(4-3)可写为002ARm(4-5)联立式(4-1)、式(4-2)及式(4-5),可得20022AWRWLm(4-6)上式表明:当线圈匝数为常数时,电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数,改变δ或A0均可导致电感变化,因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和变气隙面积A0的传感器。目前使用最广泛的是变气隙厚度式电感传感器。20022AWRWLm4.1.2输出特性L与δ之间是非线性关系,特性曲线如图5-2所示。20022AWRWLmL+-oL0L0+LL0-L图4-2变隙式电压传感器的L-δ特性分析:当衔铁处于初始位置时,初始电感量为020002WAL(4-7)当衔铁上移Δδ时,传感器气隙减小Δδ,即δ=δ0-Δδ,则此时输出电感为00000201)(2LAWLLL(4-8)当Δδ/δ0<<1时(台劳级数):30200001LLLL(4-9)可求得电感增量ΔL和相对增量ΔL/L0的表达式,即200002000011LLLL(4-10)(4-11)同理,当衔铁随被测体的初始位置向下移动Δδ时,有3020000302000011LLLL(4-12)(4-13)对式(4-11)、(4-13)作线性处理,即忽略高次项后,可得00LL(4-14)灵敏度为0001LLK可见:变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾,因此变隙式电感式传感器适用于测量微小位移的场合。(4-15)与•衔铁上移–切线斜率变大0K20000011LLK20000011LLK--L+-oL0L0+LL0-L•衔铁下移–切线斜率变小与线性度•衔铁上移:23000LL非线性部分23000LL非线性部分--•衔铁下移:•无论上移或下移,非线性都将增大。差动变隙式电感传感器sUL1L2RoRooU122131¡ªÌúо£»2¡ªÏßȦ£»3¡ªÏÎÌú为了减小非线性误差,实际测量中广泛采用差动变隙式电感传感器。衔铁上移Δδ:两个线圈的电感变化量ΔL1、ΔL2分别由式(4-10)及式(4-12)表示,差动传感器电感的总变化量ΔL=ΔL1+ΔL2,具体表达式为...