CompanyLOGO硅材料与硅片的生产硅材料与硅片的生产SolarfunContents多晶硅的合成一多晶硅锭的生产过程二单晶硅的生产过程三硅片加工四Solarfun小结五 硅半导体的生产主要分为多晶硅的合成及生长、单晶硅的生长和硅晶片加工这三个步骤。其中，多晶硅合成主要是应用化学方法，通过一系列的化学反应完成多晶硅的提纯生长过程，得到高纯硅；太阳电池多晶硅锭主要采用定向凝固的方法生产的；单晶硅的生长是将已生产的高纯多晶硅制备为单晶硅，这一过程是通过物理方法实现的，主要介绍提拉 (CZ) 和区熔 (FZ) 两种单晶生长方法；硅片加工主要是机械加工的过程，包括硅片的定向、切割、打磨、抛光等过程。下面分别介绍多晶硅合成及生长，单晶硅生长和硅片加工这几个工艺步骤。 SolarfunSolarfun一 多晶硅的合成 多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质 量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和硫化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的 85 ％。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日 等 7 家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的 90% ，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不 会改变。 SolarfunSolarfun一 多晶硅的合成 从上世纪五，六十年代至今，高纯多晶硅生产广泛采用氢气还原三氯氢硅，即西门子法。回首过去，传统西门子法在我国的应用也有几十年了，但无论是生产规模，能耗，环保，以及副产物的综合利用与国外的技术相差都很大。 改良西门子法主要优点是：节能降耗显著、成本低、质量高，采用综合利用技术，对环境产生污染小。其主要技术是 : 大直径对多对棒节能型还原炉技术、导热油循环冷却硅还原炉系统技术、还原炉尾气封闭式干法回收技术以及副产品 SiCl4氢化生成 SiHCl3技术。 SolarfunSolarfun( 一 ) 改良西门子法的几项关键技术 1 大型多对棒节能型还原炉 多晶硅还原炉，出于节能降耗的考虑，必须大型化，与之相适应的电器也必须大型配套。大型节能还原炉有几项关键的技术 : (1) 炉内可同时加热许多根金属丝，以减少炉壁辐射所造成的热损失；(2) ...
