第 21 卷 第 1 期 2009 年 2 月 超硬材 料 工 程 S U P E R H A R D M A T E R I A L E N G lN E E R IN G V o 1．2 1 Fe b．2 00 9 CV D 金 刚石制备 方法及其工 业化 前景分析① 董长顺 ，玄真武 ，石岩 ，秦松岩 (北京天地 东方超硬材料股份有限公司 ，北京 100018) 摘要 ：文章对 多种 CVD 金刚石膜 制备方 法进 行 了介绍 ，同时对近年 来国内外 CVD 金 刚石技 术及 其产 业 发展状况 、应用领域开发 、潜在 的市场 前景 等方面进行 了分析 讨论 。指 出：作 为 21 世 纪 的高新材料 ，CVD 金刚石及其工具产品的产业化 发展 ，必 将在科技 、军工及 民用工 业等技 术领域 起非常重要 的作 用。 关键词 ：CVD ；金刚石膜 ；沉积 法 ；综 述 中图分类号 ：TQ 164 文献标识码 ：A 文章编号 ：l 673— 1433(2009)01一o033一O7 M a nuf a c t ur in g m et h o ds o f C V D d ia m o nd a nd t h e a n al y s is o n i t s in d us t r i a li ze d pr o s pe ct DO N G Chang—shun ，X U A N Zhen-wu ，S HI Y an ，Q IN Song -y an ( B eiJ ing T ia nD i Orient S up erha rd M a teria ls C o．，L td ．B ei ng 10 00 18 ，C hina ) A bstr act ：It has int ro duced k ind s of manufact u ring met ho ds of C V D d iamond film ，ana． 1yzed and d iscuss ed t he develop ing sit uat io n ，exp lo it at ion o f app licat io n field ， po tent ial mark ets and o ther as pects of recent C V D diamo nd t echno log y w it h it s ind us t ry at hom e and ab road in t his p aper ． It has als o po int ed out t hat t he i nd us t rialized d evel op ment of a hig h--t ech m aterial in 2 1st cent ur y -·-·C V D diamo nd wit h it s p ro ducts as t ool s w ill be very im po rtant in t he technica l field s including science and techno lo g y ，milit ary ind us tr y and...
