下载后可任意编辑半导体设备零部件行业讨论报告半导体设备零部件行业讨论报告半导体关键零部件分类半导体设备由 8 类核心子系统构成据半导体产业调查公司 VLSI 统计，半导体设备的关键子系统主要分为 8 大类。包含：气液流量控 制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系 统、其他集成系统及关键组件，每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成。不同半导体设备的核心零部件有所不同。例如：光刻机的核心零部件包括工作台、投影物镜、光源 等，而等离子体真空设备（PVD、CVD、刻蚀）的核心零部件包括 MFC、射频电源、下载后可任意编辑真空泵、ESC 等。半导体核心零部件：通用部件国产化难度高半导体设备企业采购的零部件通常包括机械类、机电一体类、电气类、气体输送系统类、真空系统 类、附属设备等。参考部分半导体设备公司的招股说明书，其中，腔体、金属加工件、EFEM 等精 密机加件的国产供应商包括靖江先锋（参考沈阳拓荆、中微公司的招股说明书）、沈阳富创（参考 公司官方网站）、兆恒众力等，而真空系统、真空泵、射频电源、机械手等通用部件都是采购 MKS、AE、爱德华、Rorze 等外资品牌。半导体附属设备：国产化相对容易集成电路制造关键附属装臵主要包括温控装臵、干泵、尾气处理装臵和真空隔离阀。其中，北京京 仪自动化装备技术有限公司成立于 2024 年 6 月，在温控装臵、尾气处理装臵等领下载后可任意编辑域有一定的竞争 优势，是一家集研发、生产和销售为一体的装备制造企业，主要产品包括半导体温控装臵系列 （Chiller）、机器人系列（WaferSorter/AMR）、废气处理装臵系列（LocalScrubber）等专用设备，现 已广泛应用于半导体、LED、LCD 等领域，且公司客户包括中芯国际、长江存储、华虹无锡等国内 知名半导体企业。半导体零部件的市场前景半导体零部件的重要性：半导体全产业链的基石核心零部件作为半导体设备的主要组成部分，与半导体材料、EDA 软件共同支撑着半导体产业链中 设计、制造、封测等环节，从而支撑全球经济数字化进程。半导体核心零部件与半导体原材料一 样，尽管市场规模小，却决定了半导体设备的核心构成、主要成本、优质性能等。下载后可任意编辑参考半导体零部件各公司的财务数据统计：半导体核心零部件市场规模约 200-300 亿美元，支撑半导体设备市场规模约 800-900 亿美元；半导体设备行业规模 800-900 亿美元，与半导体材...
