第一章：为何使用干涉仪做检测 1-1 干涉度量学 第一章 为什么要使用干涉仪检测首先我们要先了解，什么是干涉度量学？ 所谓干涉度量学是指利用光干涉的效应来量测特定物理量的方法, 也就是说藉由观察干涉条纹的变化, 来量测出待测物的特征 1-2 何谓干涉仪 干涉仪是什么? 一般来说, 只要是利用光干涉的原理来量测的仪器便可以称为干涉仪, 但是干涉仪的种类众多且多变化, 因此本课程中将针对最为外界常用之种类作介绍 1-3 干涉仪之优缺点 干涉仪的优点及缺点 第一 高精度 以光学组件来说, 因为组件的微小变化均会严重改变原有的光学质量，因此必须要有非常精确的量测仪器, 干涉仪具有精度非常高的优点, 最高可达 1/100 的波长甚至到 1/1000 的波长, 波长是指干涉仪中使用光源的波长值.举例来说：一般干涉仪的波长为 632.8( nm ),而 632.8 的百分之一约为 6 个(nm) , 目前的奈米科技是在这个尺度, 甚至有些更好的干涉仪可以到 0.6 个(nm ),从此可以看出干涉仪的精度有多好了 第二章：非球面玻璃模造的原理 第二. 非接触式量测 另一种量测用的轮廓仪是使用接触式的量测方式, 即使目前已可以微调接触的力量, 但对于表面较脆弱的被量测物是否真的完全不会造成损害则仍无法确定.而当用干涉仪量测时, 是把光照射到被量测的物体上, 所以干涉仪上的探针也就是光, 并不会对物体表面照成任何伤害 第三 使用探针来量测时无法一次量测所有的面积, 而可能必需分很多扫瞄线去量测, 相对来说, 干涉仪的量测速度就非常快了, 可能几秒钟就量完了, 而不需要等待几个小时的时间. 第四 则是干涉仪的缺点, 一个操作员在会使用干涉仪却不太清楚干涉仪的使用限制、条件及原理的时候, 可能会量测到不是他所要的东西, 而且, 因为干涉仪是用光线量测, 在调整上也会花费多的时间, 可能量测结果只要花几秒钟, 但事前的调整却要花费几十分钟甚至数个小时. 第二章：干涉仪工作原理 2-1 光干涉 2-1.1 为何光有干涉现象 干涉仪工作原理 我们是用干涉仪量测, 所以先要了解什么是光干涉? 为什么光有干涉现象?光的干涉现象有二个原因, 第一 光像是波一样, 具有波的特性, 我们在丢一块小石子在池塘中, 就会看到很多涟漪向外扩散传播, 这就是波, 而光就可以用波来描述. 第二 波的迭加原理, 我们之所以能够看到干涉条纹的明暗变化, 就是因为迭加原理所造成的,这是二个造成光干涉现象的基本条件除此之...
