Etalon 激光跟踪仪产品介绍 背景： 数控机床由于其本身的运动比较复杂，因此其运动过程中产生的各种误差相对来说也比较复杂。现以三轴加工中心为例，其共有21 项误差元素，包括3 个线性误差，6 个直线度误差，3 个垂直度误差，3 个俯仰角误差，3 个偏摆角误差以及3 个旋转角误差（见图1 所示）。传统的测量仪器没有考虑俯仰角、偏摆角和旋转角的误差，精度不高，并且机床的体积定位精度的完整检测非常复杂耗时。Etalon 激光跟踪仪的开发成功解决了这一问题，一台三轴机床所有21 个误差都能被快速高效的捕捉. 线性位移误差：Dx(x)、Dy(y)和 Dz(z) 水平平面内直线度误差：Dy(x)、Dx(y)和 Dx(z) 垂直平面内直线度误差：Dz(x)、Dz(y)和 Dy(z) 旋转角度误差：Ax(x)、Ay(y)和 Az(z) 俯仰角度误差：Ay(x)、Ax(y)和 Ax(z) 偏摆角度误差：Az(x)、Ax(y)和 Ay(z) 垂直度误差：Φxy、Φyz和 Φxz 图1：3 轴数控机床的全部 21 个误差 测 量 原 理 ： Etalon 激 光 跟 踪 仪 与 传 统 激 光 干 涉 仪 测 量 原 理 最 大 不 同 在 于 ， 它 采 用 多 步 法 体 积 定位 测 量 方 法 对 所 有 21 个 误 差 进 行 测 量 和 捕 捉 。 按 国 际 标 准 化 组 织 定 义 ， 沿 体 对 角 线 测 得 的 位 移 误 差 是 机 床21 项 误 差 的 综 合 反 映 ，我 们 可 以 将 沿 体 对 角 线 方 向 测 得 的 位 移 误 差 看 成 三 个 运 动 轴 分 别 运 动 时 产 生 的 位 置 误 差在 体 对 角 线 方 向 的 投 影 ， 沿 每 个 轴 的 位 移 误 差 有 三 项 ， 沿 X 轴 的 误 差 为 ： Dx(x)、 Dy(x)、Dz(x)， 沿Y 和Z 分 别 为 ： Dx(y)、 Dy(y)、 Dz(y)、 Dx(z)、 Dy(z)、 Dz(z)（ 如 图1 所 示 ） 。上 述9 项 位 置 误 差 中 实 际 上 包 含 了 三 个 轴 运 动 时 产 生 的 所 有21 项 误 差 （ 线 性 位 移 误 差 、直 线 度 误 差 、 转 角 误 差 、 垂 直 度 误 差 ， 甚 至 其 它 一 些 非 刚 体 运 动 误 差 ） ， 因 此9 项 位 置 误差 反 映 了 机 床 的 空 间 位 置 精 度 。 从 误 差 补 偿 的 角 度 看 ， 对 于 具 有 空 间 位 ...
