MEMS 综述第一章MEMS 的概念........................................................................................................................2第二章MEMS 技术发展历史............................................................................................................2第三章MEMS 技术工艺与流程........................................................................................................53.1MEMS 关键技术..................................................................................................................53.2MEMS 制造与加工工艺......................................................................................................73.3MEMS 应用流程..................................................................................................................9第四章国内外发展状况...............................................................................................................104.1国外 MEMS 技术主要研究机构.......................................................................................104.2国外发展现状.................................................................................................................124.3国内主要研究机构.........................................................................................................144.4国内现状.........................................................................................................................164.5中国 MEMS 产业存在的问题...........................................................................................17第五章MEMS 未来发展方向..........................................................................................................18第一章MEMS 的概念MEMS 是 英 文 Micro Elector Mechanical sy stems 的 缩 写 ， 即 微 电 子 机 械 系 统 。 利 用 集 成电 路 （ IC） 制 造 技 术 和 微 加 工 技 术 把 微 结 构 ， 微 传 感 器 ， 微 执 行 器 等 制 造 在 一 块 或 者 多 块 芯...
