什么是“X 射线光电子能谱 X 射线光电子能谱( XPS ,全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy)是一种基于光电效应的电子能谱,它是利用X 射线光子激发出物质表面原子的内层电子,通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱
这种能谱最初是被用来进行化学分析,因此它还有一个名称,即化学分析电子能谱( ESCA,全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analy sis) XPS 是由瑞典Uppsala 大学的K
Siegbahn 及其同事历经近20 年的潜心研究于60 年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方法
Siegbahn 教授对发展 XPS 领域做出的重大贡献,他被授予 1981 年诺贝尔物理学奖
另外,他也被我校化学物理系聘为名誉教授 ; XPS 现象基于爱因斯坦于1905 年揭示的光电效应,爱因斯坦由于这方面的工作被授予1921 年诺贝尔物理学奖; X 射线是由德国物理学家伦琴(Wilhelm Conrad R
ntgen,l845-1923)于1895 年发现的,他由此获得了 1901 年首届诺贝尔物理学奖
XPS 中涉及的物理学原理 2
1 X 射线物理 X 射线起源于轫致辐射,可被认为是光电效应的逆过程,既: 电子损失动能 =》 产生光子(X 射线) 因为原子的质量至少是电子质量的 2000 倍,我们可以把反冲原子的能量忽略不计
上图:X 射线管示意图; 上图:现代商用薄的铝箔材料,厚度约为1~2 型X 射线源,X 射线的出射窗采用很
m,它可以阻止X 射线源中的散射电子的通过,同时还可滤去相当部分的轫致辐射所形成的X 射线本底
典型的X 射线谱表现为在连续谱(白光 X 射线)上出现迭加的标识峰(特征 X 射线),其对应的波长表征着靶物质的特性