1. 什么是“X 射线光电子能谱 X 射线光电子能谱（ XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X 射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它还有一个名称，即化学分析电子能谱（ ESCA，全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analy sis） XPS 是由瑞典Uppsala 大学的K. Siegbahn 及其同事历经近20 年的潜心研究于60 年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方法。鉴于K. Siegbahn 教授对发展 XPS 领域做出的重大贡献，他被授予 1981 年诺贝尔物理学奖。 另外，他也被我校化学物理系聘为名誉教授 ； XPS 现象基于爱因斯坦于1905 年揭示的光电效应，爱因斯坦由于这方面的工作被授予1921 年诺贝尔物理学奖； X 射线是由德国物理学家伦琴（Wilhelm Conrad R?ntgen，l845-1923）于1895 年发现的，他由此获得了 1901 年首届诺贝尔物理学奖。 2. XPS 中涉及的物理学原理 2.1 X 射线物理 X 射线起源于轫致辐射，可被认为是光电效应的逆过程，既： 电子损失动能 =》 产生光子(X 射线) 因为原子的质量至少是电子质量的 2000 倍，我们可以把反冲原子的能量忽略不计。 上图：X 射线管示意图； 上图：现代商用薄的铝箔材料，厚度约为1~2 型X 射线源，X 射线的出射窗采用很?m，它可以阻止X 射线源中的散射电子的通过，同时还可滤去相当部分的轫致辐射所形成的X 射线本底。 典型的X 射线谱表现为在连续谱（白光 X 射线）上出现迭加的标识峰（特征 X 射线），其对应的波长表征着靶物质的特性。可以根据靶原子原子结构的量子描述来解释这些特征 X 射线谱线。 靶材不变时，改变加速电压 V ，则 X 射线连续谱的?max 改变，但标识 X 射线频率却不变； 改变靶材时，加速电压 V 不变，特征 X 射线谱的峰位将发生改变，但 X 射线连续谱的 ?max 不变。 在目前的商业化仪器中， XPS 的靶材一般采用Al/Mg 双阳极靶，这样可以根据分析需要来进行选择，由Al靶产生的Al K?射线光子的能量为1486.6 eV，Mg K?为1253.6 eV。另外，还有选用Ti的K?射线作为光源，其光子能量为2040 eV； 作为XPS 的激发源，要求其具有光强强、单色性好的特点。X 射线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高，因此，一般说来，高精度 XPS 系统中会自带...
