项目监测内容仪器监测周期取样数责任部门 控制参数参考标准工作环境及样品认定环境温湿度温湿度计每班两次EPA区域内及认定场所所属部门温度:18-28℃30%RH <湿度<75%RHN/A《温湿度管理规定》《温湿度记录表》《样品质量认定表》防雷地线天面防雷带是否完好目视每季一次每个连接点HR工程课是否严重锈蚀,断开N/A《接地线检测规程》D/WI-ESD-007《防静电定期检查管理表》D/WI-ESD-007/F-001接地体、主干线阻值接地摇表 每年一次每个连接点HR工程课电阻<1Ω车间分支干线与主干线阻值万用表每季一次每个连接点HR工程课电阻<1Ω车间分支线与分支干线阻值万用表每季一次每个连接点技术课电阻<1Ω设备系统电阻接地摇表 每年一次每个连接点HR工程课电阻<4ΩN/A电烙铁接地电阻万用表每班一次 全部所属部门电阻<20ΩESD STM13.1-2000《接地线检测规程》D/WI-ESD-007《防静电日常检查记录表》D/WI-ESD-005/F-001大型设备外壳系统电阻万用表每季一次，新增或位置发生变更时重新测试全部技术课电阻<1ΩANSI EOS/ESDS 6.1《接地线检测规程》D/WI-ESD-007《防静电定期检查管理表》D/WI-ESD-007/F-001小型设备外壳系统电阻万用表正常每月一次，新增或位置发生变更时重新测试全部所属部门 电阻<1ΩANSI EOS/ESDS 6.1《接地线检测规程》D/WI-ESD-007《防静电定期检查管理表》D/WI-ESD-007/F-001设备接地线与分支线阻值万用表每季一次 全部技术课电阻<1ΩANSI EOS/ESDS 6.1《接地线检测规程》D/WI-ESD-007《防静电定期检查管理表》D/WI-ESD-007/F-001电批、烙铁及接触产品的测试仪器漏电压万用表每班一次 全部所属部门《防静电日常检查记录表》D/WI-ESD-005/F-001大型设备漏电压万用表每季一次 全部所属部门《防静电定期检查管理表》D/WI-ESD-007/F-001ESD控 制技术要求《接地线检测规程》D/WI-ESD-007《防静电定期检查管理表》D/WI-ESD-007/F-001ESD控 制技术要求相关文件及记录静电接地ANSIEOS/ESDS6.1交流设备、治工具接地N/A+/-0.5V以下《接地线检测规程》D/WI-ESD-007项目监测内容仪器监测周期取样数责任部门 控制参数参考标准表面点对点电阻兆欧表来料验收时抽样技术课1.0×105Ω ~1.0×109ΩESD S 4.1《防静电用品检查报告》《防静电用品检查月报》接地电阻兆欧表来料验收时抽样技术课1.0×105Ω ~1.0×109ΩESD S 4.1《防静电用品检查报告》《防静电用品检查月报》摩擦电压静电压测试仪来料验收时或新安装时抽样技术课+/-30V以内ESD S...
