目录 一、国内外 mems 传感器生产厂商介绍 ............................. 2 1 国内生产厂商 ....................................................................................................................... 2 2 国外生产厂商 ........................................................................................................................ 8 二、MEMS 产业竞争格局 ................................................... 11 1. 产品结构 ............................................................................................................................ 11 2、中国半导体传感器市场整体竞争格局 ........................................................................... 13 3、全球重点厂商分析 .......................................................................................................... 14 三、MEMS 传感器的生产工艺介绍 .................................... 18 1 设计..................................................................................................................................... 18 2 加工...................................................................................................................................... 19 3 封装..................................................................................................................................... 25 4 测试..................................................................................................................................... 28 四、MEMS 传感器的材料与设备 ........................................ 35 一、国内外 mems 传感器生产厂商介绍 1 国内生产厂商 公司名录 主要产品类型 技术来源 无锡纳微电子有限公司 硅压力传感器 是 2008 年 1 月由中国无锡留学人员创业园、中国爱德基金会，和主要创业人员等共同出资，南京大学教授都有为院士任公司董事长及首席科学家，海外留学归国人员桂建明博士任公司总经理 北京广微积电科技有限公司 压力传感器、非制冷红外探测器 公司主要设计研发人员均来自国外，尤其在集成电路设计及微传感器系统集成...
