碱 性 蚀 刻 工 艺 培 训 教 材 何 勇 强 一 、 概 说 碱 性 蚀 刻 是 氯 化 铜 在 碱 性 条 件 下 用 化 学 方 法 去 除 图 形 中 不 需 要 的 铜 层以 形 成 线 路 图 形 ， 主 要 应 用 于 图 形 电 镀 后 蚀 刻 铜 层 。 碱 性 蚀 刻 适 用 于 以 镀 铅 /锡 、 镀 钝 锡 、 镀 镍 、 镀 金 等 作 为 抗 蚀 层 用 于 外 层 线 路 图 形 的 蚀 刻 。 二 、 流 程 上 板 → 褪 膜 → 水 洗 → 碱 性 蚀 刻 → 补 充 药 水 清 洗 → 水 洗 → 烘 干 → 褪 铅 锡 → 水洗 → 烘 干 褪 膜 机 、 蚀 刻 机 、 退 铅 /锡 机 三 部 分 组 成 一 条 联 动 线 2.1 褪 膜 a） 原 理 ： 经 图 形 电 镀 后 未 被 电 镀 部 分 是 由 干 膜 覆 盖 着 ， 该 部 分 在 最 终 形 成 线 路图 形 时 要 被 蚀 去 ，所 以 在 蚀 刻 前 首 先 要 把 干 膜 退 除 以 便 露 出 铜 面 。退 膜 液 为 稀 碱 ，当 稀 碱 进 入 干 膜 中 把 含 酸 基 的 树 脂 中 和 反 应 而 被 溶 解 出 来 ， 使 干 膜 脱 离铜 面 。 b） 设备： IS 和 ACS 褪 膜 机 、 外 置过滤器 c） 材 料： 有机 褪 膜 碱 （例如ATO 的 RS628）， 对铅 锡 层 无攻击。 铅 能缓慢溶 于 强碱 性 溶 液 ， 曾使 用 氢氧化 钠， 但是 对铅 锡 层 攻击大， 在 退 膜 时 时 间过长， 对抗 蚀层 有一 定的 腐蚀 作 用 ， 轻者线 路 不 直或渗锡 蚀 刻 不 净， 严重时 抗 蚀 层 太薄而 造成蚀 铜 时 把 线 路 蚀 断， 甚至出 现孔内无铜 。 d） 控制关键： 退 膜 段的 生产控制是 很重要 的 一 步， 如果板 在 该 段退 膜 不 干 净，或者说 表面 看似已退 膜 完成 但线 路 间（特别是 细线 路 ） 如果还残有余胶也会造成蚀 铜 过程 不 干 净而 形 成 短路 。 所 以 正确的 操作 是 控制溶 液 的 浓度、 板 在 该 段停留的 时 间和 充 分 的 水 洗 ， 才能确保退 膜 后 的 板 顺利通过蚀 铜 工 序。 2.2 蚀 刻 a） 碱 性 蚀 刻 ： 蚀 刻 液 中 ...
