高科技工业安全复习题VIP免费

高科技工业安全复习题一．缩写名词解释（）1.HEPA：Highefficiencyparticulateairfilter空气过滤器。2.ULPA：Ultralowpenetrationairfilter超低渗透率空气过滤器。3.ESD：electricstaticdischarge静电放电。4.ppm：partspermillion百万份之一。5.ppb：partsperbillion十亿份之一。6.mic：mobileioncontamination可动离子沾污。7.BOE：bufferedoxideetch缓冲氧化物刻蚀。8.Ballroomlayout：舞厅式布局。9.Bayandchaselayout：生产区与技术区夹层。10.SMIF：Standardmechanicalinterface标准机械接口。11.FOUP：front-openingunifiedpod前开口片盒。12.CMP：chemicalmechanicalpolishing化学机械平坦化。13.COD：ChemicalOxygenDemand化学需氧量（测量水中有机物化学氧化所需氧的数量，单位为ppm）。14.BOD：BiologicalOxygenDemand生化需氧量（测量水中有机物污染的参数，表示含有机物之水中，微生繁殖所需之新陈代谢耗氧的数量，单位为ppm）。二．判断题（）15.人类头发的相对尺寸大约是在IC里最小特征尺寸0.18m的500倍。16.可以接受的颗粒尺寸的法则是它必须小于最小特征尺寸的一半。17.原生氧化物使用含HF酸的混合液的清洗步骤去除。18.联邦标准209E空中传播的微粒洁净度等级10级：大于0.5m的颗粒小于1019.联邦标准209E空中传播的微粒洁净度等级100级：大于0.5m的颗粒小于100。20.人是颗粒的产生者，是净化间沾污的最大来源。21.现代超净化服是高技术膜纺织品或密织的聚酯织物。22.Ballroomlayout的层流工作台的净化级别是100级。23.Bayandchaselayout加工硅片的生产间格的净化级别是1级。24.联邦标准209D净化间温度的推荐值是22.20C。25.联邦标准209D净化间相对湿度的最大值是45%，最小值是30%。26.微粒过滤器：可过滤之微粒为1.5m及以上的深度过滤器。27.微过滤器：薄膜过滤器可将液体中之微粒移除，可过滤之微粒范围为0.1至1.5m。28.超过滤器：加压之薄膜式过滤器可阻绝之微粒范围为0.005至0.1m。29.逆渗透：又称为超级过滤器，主要是以加压方式将溶液通过半渗透薄膜，可阻绝微粒与金属离子，所隔绝微粒之大小可至0.005m。30.导电度与电阻值：导电度指水溶液导电的能力，单位为Micromho/cm(μS/cm)或MicroSiemens/cm(μS/cm)。三．简答题（）31.污染的类型：微粒、微粒金属杂质、有机污染物、原生氧化物和静电放电。32.金属杂质带来的问题：PN结的漏电流的增加，少数载流子寿命的减少，Na+离子改变MOS管的开启电压。33.原生氧化物带来的问题：原生氧化层沿着接触窗的底部排列，造成介于钨和掺杂硅区域之间不良的电接触。34.晶圆厂内之7种污染来源如下：空气、人体、厂区、水、制程化学品、制程气体和生产设备。35.无尘室服装系统必须发挥下列各项指针功用：服装内之所有污染物必须完全隔离于无尘室；不得释放微粒；不得存在静电荷；不得排放化学性或生物性碎。36.控制消除无尘室内之微粒应遵守：无尘室本体之微粒需消除；避免因设备、工具、人员与相关原料供应时，将微粒引入无尘室内；实时监控无尘室内微粒数目，以维持洁净度。37.超纯去离子水内不可包含的污染物：溶解之离子、有机材料、微粒、细菌、硅土和溶解之氧气。38.纯水在高科技产业之功能：去除沈积物、防止金属离子污染、防止有机物质污染、防止氧化物污染、增加产品表面之整齐、增加产品表面之平滑和去除产品表面之微尘粒子及附着物。39.1#液的组成和清洗目的：NH4OH/H2O2/H2O；颗粒。40.2#液的组成和清洗目的：HCL/H2O2/H2O；金属。41.3#液的组成和清洗目的：H2SO4/H2O2；有机物和金属。42.稀HF的组成和清洗目的：HF/H2O；自然氧化层。43.阳树脂离子交换反应：RSO3H+NA+（溶液中）RSO3NA+H+（溶液中）44.阴树脂离子交换反应：R4NOH+CL-（溶液中）R4NCL+OH-（溶液中）45.阴离子交换树脂的再生：R4NOH+CL-（溶液中）R4NCL+OH-（溶液中）46.阳离子交换树脂的再生：RSO3H+NA+（溶液中）RSO3NA+H+（溶液中）47.洁净室构成要素：可去除飘浮于空气中的微粒子、可以防止及避免微粒子之产生、室内温湿度之控制调整、室内压力之调节、化学品、废气及有害气体物质之排除、建物结构与室内内装隔间之气密性、电...