25/3/5激光微加工激光微加工刘颂豪刘颂豪华南师范大学华南师范大学25/3/5激光微加工的概念激光微加工的应用领域飞秒激光微加工的优点飞秒微加工的重要应用光纤激光在精细加工中的应用展望25/3/5微加工的概念 微加工的概念微加工的概念Microfabrication 微细加工（结构，功能，性能）Micromachining 精细加工（尺寸精确，机械加工） 起源于半导体制造工艺起源于半导体制造工艺 传统微加工技术多用于硅材料，并限于平面结构，由于这种基于传统光刻和各向异性腐蚀硅微机械，结晶学取向性限制了能获得的形状。 微加工作为微机械的关键技术微加工作为微机械的关键技术 目前常用的工艺方法有：半导体 IC 加工工艺的硅微细加工，微细电火花精密加工， LIGA 技术，微组装技术等等。 微加工几何尺寸的偏差比例（比传统的结构）大一般传统加工偏差 1% ，MEMS 加工尺寸偏差大于 10 ％25/3/5区别于传统的激光加工区别于传统的激光加工 激光微加工区别于传统得奖激光焊接、切割、打孔、表面改性等，包含范围非常广，能无限激发人的创造力。 微加工特点微加工特点激光功率小：激光功率小： mWmW ～～ WW 量级；量级；功率密度高；功率密度高；加工尺寸小，分辨率高；加工尺寸小，分辨率高；脉冲、连续两种方式。脉冲、连续两种方式。加工精度加工精度衍射极限（横向分辨率约等于波长量衍射极限（横向分辨率约等于波长量级）级）RayleighRayleigh 长度（焦长）长度（焦长）25/3/5激光微加工应用领域 激光微加工技术主要应用于以下三个重要领域： 微电子学（ ME ）——薄膜的局部沉积及去除，即激光修整、激光光刻、激光微机械加工，以及退火、局部掺杂及焊接等。 微机械学（ MM ）——在设备制造业、汽车以及航空精密制造业和各种微细加工业中可用激光进行切割、钻孔、打标、雕刻、划线、热渗透、焊接、硬化处理等。 微光学（ MO ）——利用诸如微压型、打磨抛光等激光表面处理来加工多种微型光学元件，也可通过诸如激光填充多孔玻璃，玻璃陶瓷的非晶化来改变组织结构，然后，通过调和外部机械力，再在软化阶段依靠等离子体辅助进行微成形来加工微光学元件。 激光在上述领域的应用推动了它在许多新兴的工程方面的应用，例如：信息、通讯、医药、微型机器人和其他一些集光、电、机械为一体的微型系统。 25/3/5飞秒激光加工的优点飞秒脉冲与长脉冲加工效果比较飞秒脉冲与长脉冲加工效果比较 25/3/5长脉冲...
