1 SZT-2A 四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的 中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数， 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 温 度： 23℃ ±3℃ 相 对 湿 度： 50%~70% 2 工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二，技术参数 1， 测量范围 电阻率： 10⁻⁴ -105Ω-cm 方块电阻 10⁻⁴ - 105Ω/□ 电阻 10-⁴- 105 Ω 2，可测半导体材尺寸 直 径： Ф 15-100mm 长（或高）度： ≤400mm 3， 测量方位 轴向，径向均可 4， 数字电压表： （1） 量程：20mV,200mV,2V （2） 误差：±0.5%读数±2字 （3） 输入阻抗:>10⁸Ω （4） 最大分辨率:10μ V （5） 点阵液晶显示，过载显示。 5， 恒流源： （1） 电流输出：共分 10μ A,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。 3 （2） 误 差： ±0.5%±2字。 6,四探针测试头; (1) 探 针 间 距: 1mm (2) 探针机械游移率: ±1.0% (3) 探 针 材 料: 碳化钨,Ф 0.5mm (4) 0-2Kg可调,最大压力约 2Kg 7, 电 源: 交流 220V±10% 功耗 <35W 本仪器可以选配电动测试架，手动测试架，手持探险头或四夹子电阻测量输入线。 1，电动测试架； 电动测试架是用步进电机驱动测试头升降，只要将被测工件放在测试平台中心位置，按一次启动按钮，测试头自动下降，直到针头和被测工件接触，探头将自动以慢速下降一段距离压紧探针使针与工件接触良好并等待测量，稍候测量结...
