JEM-2100 操作说明一、合轴操作1． 照明系统合轴（1）
找亮：当打开灯丝，并且灯丝电流发射之后，应该在荧光屏上找到电子束，若打开灯丝后没有发现电子束，请进行以下操作：将放大倍数降低到10K 左右，移动轨迹球，撤除所有光阑，基本上以上操作可以解决大多数没亮的情况若仍然找不到亮，则需调整GUN TILT 进行找亮当然，也可以在用户模式下直接对GUN 进行清零操作NTRL
正常情况下就能找到电子束了
(2) 灯丝像调节 :放大倍数为X40K ，将光斑用beam shift 移动到屏幕中心，慢慢降低灯丝电流， 并且用 BRIGHTNESS 旋钮将光斑聚到最小，随着灯丝电流下降，可以观察到灯丝像出现
如图所示标准的六硼化阑灯丝像是均匀对称的四瓣花型的，若发现花瓣不对称，说明灯丝偏了， 需要用 GUN TILT 调节到对称即可
调节完毕后将灯丝电流升高到正常数值，即稍能看到一点灯丝像阴影
（3）1、5 合轴：将束斑调到SPOTSIZE 5 ，用 beam shift 将束斑移动至屏幕中间，切换至 SPOTSIZE 1 ，用 gun shift 将偏移的束斑移动至屏幕中间，重复此过程直到当切换 SPOTSIZE1 到 5 时束斑基本上不发生偏移即可
（4）聚光镜消象散： 观察各个束斑形状， 如果发现束斑形状椭圆，则用 CONDSTIG键将束斑调圆即可
（5）加聚光镜光阑：聚光镜光阑红点位置表示退出，其余的点的大小表示当前所加入的光阑孔大小，顺时针加入光阑至合适的孔径，一般用 1 号或 2 号光阑孔， 加完后用 beam shift 将光斑移动至屏幕中心，这时顺时针转动BRIGHTNESS 将光斑放大到与屏幕同大，若光阑没有加正，则光斑不是均匀覆盖屏幕，即光斑补随BRIGHTNESS同心放大，此时调节光阑前端和右侧的两个旋钮使光斑圆心与屏幕同心即可
（6）样品高度调节： 找一处
