JEM-2100 操作说明一、合轴操作1. 照明系统合轴(1).找亮:当打开灯丝,并且灯丝电流发射之后,应该在荧光屏上找到电子束,若打开灯丝后没有发现电子束,请进行以下操作:将放大倍数降低到10K 左右,移动轨迹球,撤除所有光阑,基本上以上操作可以解决大多数没亮的情况若仍然找不到亮,则需调整GUN TILT 进行找亮当然,也可以在用户模式下直接对GUN 进行清零操作NTRL !正常情况下就能找到电子束了。(2) 灯丝像调节 :放大倍数为X40K ,将光斑用beam shift 移动到屏幕中心,慢慢降低灯丝电流, 并且用 BRIGHTNESS 旋钮将光斑聚到最小,随着灯丝电流下降,可以观察到灯丝像出现。如图所示标准的六硼化阑灯丝像是均匀对称的四瓣花型的,若发现花瓣不对称,说明灯丝偏了, 需要用 GUN TILT 调节到对称即可。 调节完毕后将灯丝电流升高到正常数值,即稍能看到一点灯丝像阴影。(3)1、5 合轴:将束斑调到SPOTSIZE 5 ,用 beam shift 将束斑移动至屏幕中间,切换至 SPOTSIZE 1 ,用 gun shift 将偏移的束斑移动至屏幕中间,重复此过程直到当切换 SPOTSIZE1 到 5 时束斑基本上不发生偏移即可。(4)聚光镜消象散: 观察各个束斑形状, 如果发现束斑形状椭圆,则用 CONDSTIG键将束斑调圆即可。(5)加聚光镜光阑:聚光镜光阑红点位置表示退出,其余的点的大小表示当前所加入的光阑孔大小,顺时针加入光阑至合适的孔径,一般用 1 号或 2 号光阑孔, 加完后用 beam shift 将光斑移动至屏幕中心,这时顺时针转动BRIGHTNESS 将光斑放大到与屏幕同大,若光阑没有加正,则光斑不是均匀覆盖屏幕,即光斑补随BRIGHTNESS同心放大,此时调节光阑前端和右侧的两个旋钮使光斑圆心与屏幕同心即可。(6)样品高度调节: 找一处样品, 按下 IMAGE WOBBLE X或 Y,观察图像震动,调节 Z 键直至将图像震动幅度最小即可2. 成像系统合轴(1)电压中心调节: 找一样品尖端处, 将尖端移动到屏幕中间黑点处。按下 HT WOBBLE 让样品振颤,用BRIGHT TILT 调节样品尖端在振颤时不偏离屏幕中间黑点,即样品同心收缩即可。(2)细聚焦:调节OBJ FOCUS 按钮,使要观察的样品调至正交处,可通过欠交,正交,过交现象来确认正交。找一处孔的边界,在欠交下,孔边缘会出现亮边,而在过交下,孔的边缘会出现黑边,介于欠、过交之间,无黑、亮边时就是正交处。(3)物镜消象散: 物镜象散的消法是在X300K 以上找一处...