85 单晶炉 标准操作规程 单晶车间 说明 1．本规程目的： 学会正确操作直拉单晶炉，加强单晶车间的安全管理，保证工作质量，提高产量、成品率、降低成本、消除安全隐患。 2. 本规程内容： 本规程详细讲解直拉式单晶炉的操作方法及基础知识，以巩 2 固所学操作知识及安全生产知识。 3．本规程的使用方法： 直拉单晶炉是生产电子、太阳能电池产品的原材料设备，具有较强的技术要求及严格工艺卫生要求的特点，因此操作者结合实际操作，根据本规程的讲解，能基本掌握单晶炉的操作方法。 4．适用对象： 全自动直拉单晶炉操作人员。 5．本规程特点： 基础知识与多年实践操作相结合，本规程的操作步骤全部经过实践、验证、正确无误。实用性强。 目录 1. 准备工作 2. 取晶和拆炉 3. 安装石墨热场 4. 装料 5. 籽晶准备 6. 抽真空 7. 检漏 3 8. 熔料 9. 熔体温度稳定 10.缩颈 11.放肩 12.转肩 13.等径 14.晶体回熔与取出 15.收尾 16.冷却 17.石墨件的锻烧 18.单晶生产应急措施 19.交付 1 单晶炉操作工艺流程 热检漏→作业准备→取单晶→石墨件取出冷却→大罐清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→装料→装籽晶→抽空→检漏→压力化→熔料→引晶、缩颈→放肩→转肩→等径生长→收尾→停炉冷却 一 ． 准备工作 1 目的：清楚本班的工作内容。 2 准备工作 2.1 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 2.2 接班后查看交接班记录本，了解设备前一周期运行情况，清楚本班工作内容，做到按时拆炉、装炉。 2.3 准备拆炉工具及护具 2.3.1 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 2.3.2 准备好防护手套、橡胶手套、无水乙醇、纱布、吸尘管、刷子等。 2.3.3 准备好取晶车、石墨件舟车、装埚底料的不锈钢盆并处理干净。 2.4 合理安排清炉时间，并在公司规定的时间的内完成清炉工作，为开炉工作做好准备。 2.5 若在清炉过程中，发现异常情况，及时通知主操或者班长。更换石墨器件需通知班长，并做好工艺记录本备注栏做好相关记录。 2.6 在清炉过程中，严格遵守公司7s 管理要求，及时将埚底料和石英碎片归位。清炉完成之后，清理炉台附近卫生，并将工具和车辆归位。 2 二、取晶和拆炉 1.取晶体 1.1 拆炉时须穿戴好拆炉用工作服、戴好口罩。 1.2 拆炉充气前先看炉内真空度。 1.3 先打开副室炉门锁紧把手，选择【控制面板】→【氩气/真空】→打...
