离子源 接口 离子镜 分析器 检测器 图1 ICP－MS 主要组成模块 ICP-MS 原理部分 概述 ICP－MS 是一种灵敏度非常高的元素分析仪器，可以测量溶液中含量在ppb 或ppb 以下的微量元素
广泛应用于半导体、地质、环境以及生物制药等行业中
ICP－MS 全称是电感藕合等离子体质谱，它是一种将 ICP 技术和质谱结合在一起的分析仪器
ICP 利用在电感线圈上施加的强大功率的高频射频信号在线圈内部形成高温等离子体，并通过气体的推动，保证了等离子体的平衡和持续电离，在ICP－MS 中，ICP 起到离子源的作用，高温的等离子体使大多数样品中的元素都电离出一个电子而形成了一价正离子
质谱是一个质量筛选和分析器，通过选择不同质核比（m/z ）的离子通过来检测到某个离子的强度，进而分析计算出某种元素的强度
ICP－MS 的发展已经有 20 年的历史了，在长期的发展中，人们不断的将新的技术应用于ICP－MS 的设计中，形成了各类 ICP－MS
ICP－MS 主要分为以下几类：四极杆 ICP－MS，高分辨 ICP－MS（磁质谱），ICP－tof－MS
本文主要介绍四极杆 ICP－MS
主要组成部分 图1 是ICP－MS 的主要组成模块
样品通过离子源离子化，形成离子流，通过接口进入真空系统，在离子镜中，负离子、中性粒子以及光子被拦截，而正离子正常通过，并且达到聚焦的效果
在分析器中，仪器通过改变分析器参数的设置，仅使我们感兴趣的核质比的元素离子顺利通过并且进入检测器，在检测器中对进入的离子个数进行计数，得到了最终的元素的含量
各部分功能和原理 1
离子源 离子源是产生等离子体并使样品离子化的部分，离子源结构如图2 所示，主要包括RF工作线圈、等离子体、进样系统和气路控制四个组成部分
样品通过进样系统导入，溶液样品通过雾化器等设备进入等离子体，气体样品直接导入等离子
