操 作 规 程 电 感 耦 合 等 离 子 体 质 谱 仪 Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer z 仪 器 型 号 ： ICPMS7700 z 仪 器 厂 商 ： Agilent z 启 用 日 期 ： 2010
3 z 应 用 范 围 ： 可 用 于 洁 净 水 、天然水 、土壤、沉积物、矿物、食品、石油、化工产品等 环境样品的金属元素和部分非金属元素的痕量分析，其检测限为 ppt 级，推荐检测范 围 ： ppt~ppb 高 基 体 进 样 系 统(HMI) 稀释气入口 半导体 冷却控温雾室 离 轴偏转透镜 低流速进样 高速频率匹配的 27MHz 射频发生器 高性能真空系统 池气体 入口 高 频 率 (3MHz) 双曲面四极杆 快速同时双模式检测器 (9 个数量级线性动态范 围 )高离 子 传输效率、耐高盐接口 第3代八极杆反应 池系统 (ORS3)Agilent 7700 ICP-MS 系统详图 Agilent 7700 ICP-MS 工 作 流 程 示 意 ICP-MS 的 组 成 ICP-MS 的 主 要 组 成 包 括 进 样 系 统 、离子源、接口、离子透镜、八极杆碰撞反应池、四极杆滤质器、检测器及真空系 统 ，附属设备包 括 循环冷却水系 统 、供气系 统 、通风系 统 等
ICP-MS 的 基本工 作 原理 样 品通过进 样 系 统 被送进 ICP 源中，并在高温炬管中蒸发、离解、原子化和电离，绝大多数金属离子成 为单价离子，这些离子高速通过双锥接口（取样 锥和截取锥，1 级真空）进 入质谱仪真空系 统
离子通过接口后，在离子透镜（2 级真空）的 电场作 用下聚焦成 离子束并进 入四极杆离子分离系 统 （3 级真空）
离子进 入四极杆质量分析器后，根据质量/电荷比的 不同依次分开
最后由离子检测器进
